光束质量整形与质量诊断研究.PDF

电子技术 • Electronic technology 光束质量整形与质量诊断研究 文/刘海勇 许丽萍 束状排列。这种技术方法在输入端连续排列光 度，即可以从准直代价来衡量光束质量，下面 几十年来激光光束质量的整 纤，在输入输出端面镀 AR 膜，用微柱透镜在 来详细讲解该评价方法。 摘 形技术与质量评价方法不断丰富 快轴方向准直后耦合进光纤，以确保光束空间 激光光束准直难易程度需要考虑三个要 要 扩充，先进的技术和科学的方法 发散均匀。采用这种方法对半导体激光器进行 素，分别是与结平面平行的光源宽度、垂直方 为激光光束质量提供了更为有效 的保障。本文针对半导体激光器， 光纤耦合实验，实验结果表明其耦合效率高达 向的发散角、像散特性参量。光源宽度和像散 总结论述了其光束质量整形与质 75% 。该方法的优点在于能够简便的实现线阵 特性参量对准直透镜的角度会影响准直光束发 量评价的方法和技术，旨在为相 输出光场的对称化，光束经光纤传输后的输出 散角，角度增大会降低准直效果，而发散角大 关工作提供参考借鉴。 强度也得到匀化，传输过程中的损失较小，其 为保证耦合效率需要使用大数值孔径透镜，对 缺点在于整形系统体积很难压缩，半导体激光 准直透镜制作工艺提出很高的要求，也会增加 器与光纤的对比也很难。 准直代价。具体评价方法可以用光源宽度（L ） θ 【关键词】半导体激光器 激光光束 质量整形 1.2 渐变折射率透镜阵列技术 与发散角（ ）、像散特性参量（As ）乘积来 质量评价 计算准直代价，结合光束参量综合评价光束质 该技术采用透镜阵列对光束进行分割准 量。考虑到发散角对准直代价影响远大于光源 直再聚焦，虽然没有重排子光束，然而通过透 宽度和像散特性参量，采用发散角高次幂加入 自上个世纪七十年代以来，半导体激光 镜阵列提高了填充因子，达到了减小慢轴方向 计算公式即 L•θk •As （经理论计算k 取 7 较为 器被广泛应用于科研、工业等领域，具有轻巧、 光参数积进而提高光束质量的目的。这种技术 理想）。 高效、稳定的优点，尤其是高功率半导体激光 的优点在于提出了按LDA 节分割准直的思想， 3 结语 器的泵浦产生的光纤激光光束质量好、功率大， 缺点在于整形后快慢方向的光束质量差异仍较 受到了越来越多的关注。然而半导体激光器才 大，光束分布不够均匀。 综上所述，光束质量关系到其能否投入 存在内在的缺陷，限于其工作原理，产生的激 到实际应用中，对于半导体激光器而言，光束 1.3 阶梯反射镜技术 光水平、垂直方向的光束质量存在很大差异， 需借助整形技术提高光束质量，通过光束质量 束腰位置不一致，平行于 p-n 结方向的慢轴方 阶梯反射镜技术是用非球面微柱透镜对 评价。本文概况叙述了几种常见的光束整形方 向光束质量差，这极大的制约了半导体激光器 光束快轴方向进行准直，然后采用两组阶梯透 法，并介绍了一种十分新颖的评价光束质量的 的应用，必须采取有效的整形