准分子激光淀积氧化物薄膜-昆明理工大学学报.PDFVIP

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2017-06-30 发布于天津
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准分子激光淀积氧化物薄膜-昆明理工大学学报

26 1 Vol. 26 No. 1 2001 2 Jo rnal of K nming University of Science and T echnology Feb.2001 X 王金波, 张鹏翔 ( , 650093) : 自1987 年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来, 脉冲激光淀积技已得到了蓬勃发展, 现在已成为最好的薄膜制备技之一. 本文简要介绍了准分子激光的原理PLD 的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势. : 准分子; 激光淀积; 氧化物薄膜 : O484. 1 : A : 1007- 855X( 2001) 01- 026- 05 0 60 , , [ 1] , , , , ( ) , , . 1965 , Smith T rner[ 2] , . 80 , Che- ng Sank r . , , , . 1987 , [ 3] , . , , , , , [4~ 6] , , , . , , . , , , . , [ 6] [ 7] , , LCMO YBCO . 1 . / 0 ( excited dimer) , , ( ) ( [8] ) . , , , , . , , , . . , . , X : 2000- 09- 11. : ( : YKS 199907022) . : , , 1973 3 , , 98 , . 1 , : # 27 # , . 1 : nm Kr2 Xe2 ArF KrCl KrF XeCl XeF KrO HgCl 145 172 193 222 248 308 350 557 558 , He Ne , , , , 10ns, . ( ) , . F , , 2 T eflon. . F , , F He 5% . 2 2 . , . , . ArF 193nm, 50Hz, 650 mJ, 20ns, 25W, 3mrad. KrF , 248nm , 50Hz, 1200mJ, 25ns , 50W, 3mrad. : ( 1) ( 1 ) . , , , , . 10- 13s . , 10- 8s , , R 0 . ( ) .