气体激光器射频至微波放电激发的某些规律-光子学报.PDF

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气体激光器射频至微波放电激发的某些规律-光子学报

30 5 光 子 学 报Vol. 30 No . 5 2001 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2001 1 1 1 2 1 1 周引穗 高爱华 郑新亮 李恩玲 胡晓云 陆治国 ( 1 , 7 10069; 2 , 710048) ) 本文研究了射频至微波激发 和 - 原子激光器及 2 分子激光器, 结合各 X H N CO 具体激光器 实验结果对其放电物理进行了讨论, 提出获得高效率 关键是有效控制放电空 间 电子能量, 得出了一些有指导意义 结论. 射频至微波激励; 气体激光器; 放电物理; 等离子体; 类法拉第暗区; 多极放电 0 1, 2, 3 60 , 30MHz . , CO2 , . . 70 , CO2 CO2 , , , , . CO2 , . , 1. 1 , 300M Hz CO2 , CO2 . , . H -N ? Torr, 5mm, CO2 ( , , ) , . , ?, , . 30M Hz2GHz . , - 2 , CO2 ( 1 V ) . X H N CO , : CO2 . , , ( . 1( a) ) . , 1CO2 4, 5 . , 2 1. 2 CO . CO2 , , . , , , , . , 收稿日期: 2000-10-30 5 . 629 ( 1( ) ) , 700 , b MHz X , , , , . . CO2 2. 1 . 2 , , , CO 100m/ s, 2 . , 6 200s . P W in ( 3 ) , . , , , , , , , . 2

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