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电子束蒸发制备HfO 2 薄膜的性能研究.PDFVIP

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  • 2017-06-30 发布于天津
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电子束蒸发制备HfO 2 薄膜的性能研究.PDF

    电子束蒸发制备HfO 2 薄膜的性能研究

    33 5 硅 酸 盐 通 报 第 卷 第 期 Vol． 33 No． 5 2014 5 BULLETIN OF THE CHINESE CEＲAMIC SOCIETY May ，2014 年 月 电子束蒸发制备HfO2 薄膜的性能研究 1 1 2 ， ， 张红鹰 吴师岗 杜 健 (1． ， 255049 ;2 ． ， 25660

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