研制成一种光纤读出式硅谐振压力传感器.PPTVIP

3.6 热流式传感器 3.6.1 工作原理 在密闭的腔体内利用热电阻加热空气，形成稳定的对流，当器件倾斜或存在加速度时，对流方向发生改变，使测试电阻处的气流速度不同，引起对流散热速率变化，从而使得测试电阻的阻值改变。 3.6.2 MEMS热流式传感器 美国George Washington大学 腔体的尺寸500?m 一维热电偶式结构，加热功率在40mW到90mW时，灵敏度可达到40?V/g到115?V/g ，频率响应 100Hz 一维热电阻式，加热功率在120mW和430mW的时候，灵敏度分别为25 V/g和185 V/g ,频率响应600Hz 二维结构灵敏度略低 德国S.Billat利用SOI技术 性能： 空气，响应时间300ms; SF6，响应时间600ms 灵敏度:1.6mV/ ?(45mW、SF6气体) 量程：360 ? 分辨率：0.007 ? 功耗：5mW-50mW 信息产业部十三所 功率为200mW时灵敏度为0.35V/g，量程为75g，抗冲击大于100g。这个传感器中，腐蚀槽的深度为150?m，多晶硅加热电阻长1000?m，宽80?m，厚度2?m，测温电阻长1000?m，宽40?m，厚度2?m 3.6.3 传感器设计 传热学基础 传热基本方式：传导、对流、辐射 传导——傅里叶导热定律 一维热传导方程 对流 影响对流的因