电子散斑测量物体离面位移.PPTVIP

电子散斑测量物体离面位移 1.实验目的 3.实验原理 2.实验仪器 各个部件整体组装示意图： 4.实验内容 5.思考练习 上一页 下一页 主目录 返 回 * 实验目的 实验原理 仪器介绍 实验内容 思考练习 了解和掌握电子散斑干涉术（ESPI）测量物体离面位移的方法和技术； 学会用ESPI测试物体的微小离面位移。 电子散斑干涉术对物体离面位移测量比较敏感。由激光器发出的单束光经分光镜分成物光和参考光。这两束光相互干涉，形成合成光强。物光的光强分布： 参考光的光强分布：其中uo（r）是光波φo（r）的振幅，是经物体漫射后的物体光波的相位。 参考光的光强分布： 两束光的合成光强为： 当物体发生变形后，物体表面各点的散斑场振幅uo（r）基本不变，而相位φo改变为φo-Δφ（r），即U’o= uo（r） exp[φo-Δφ（r）]，变形前后的参考光波维持不变。这样，产生位移后的合成光强为： 对变形前后的两个光强相减处理： 可见，得到的光强包含有高频载波项和低频条纹。该低频条纹取决于物体变形引起的光波相位改变。当Δφ=2kπ时， =0，及出现暗条纹。 由光波相位改变与物体变形的关系： 其中λ是所用激光波长，θ是照明光与物体表面法线的夹，d1是物体变形的离面位移，d2是物体变