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2017-06-30 发布于天津
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种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究.PDF

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种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究

第23卷第2期 Vo1．23．No．2 第 23 卷第2 期红外与毫米波学报 Vo l. 23 , No.2 红外与毫米波学报 2004 年4 月 April ,2004 2004年4月 J. Infrared Millim. Waves April，2004 J．Infrared Millim．Waves 文章编号:1001 -9014(2004)02 -0091 -04 文章编号：1001—9014(2004)02—0091—04 一一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究李建康，姚要李建康，姚熹 (西安交通大学电子材料研究所，陕西西安 7 \0049) (西安交通大学电子材料研究所，陕西西安 710049) 摘要:使用一种新的快速热处理的方法制备出 Pb( Zr . Ti ) 0) (PZT) 薄膜.该方法的主要设备为链式热处理炉，摘要：使用一种新的快速热处理的方法制备出Pb(Zro Ti¨ )O，(PZT)薄膜，该方法的主要设备为链式热处理炉， O 52 o48 它主要分为三部分，即预热带、加热带和冷却带．溶胶的配制采用先通过减压蒸馏的方法得到干凝胶，再将干凝胶它主要分为三部分，即预热带、加热带和冷却带. ì容胶的配制采用先通过减压蒸甸的方法得到干J疑胶.再将干J疑胶溶解在乙二醇甲隧中的方法得31]. 对干凝肢作了 DSC-TG 分析;对薄膜作了 X-射线何射分析，结果为纯的钙铁矿结溶解在乙二醇甲醚中的方法得到．对干凝胶作了DSC—TG分析；对薄膜作了X一射线衍射分析，结果为纯的钙钛矿结构的晶相；在lOkHz时薄膜的相对介电常数为235，介质损耗小于0．02；C-V特性曲线以及P—E电滞回线显示薄膜构的晶相;在 10kHz 时薄膜的相对介电常数为 235 ，介质损耗小于 0.02;C-V 特性曲线以及 P-E 电滞回线显示薄膜具有良好的铁电性能．具有良好的铁电性能关键词：快速热处理；链式热处理炉；减压蒸馏；钙钛矿结构关键词:快速热处理:链式热处理炉;;，咸压蒸馆;钙铁矿结构中图分类号:TM221 文献标识码:A 中图分类号： FM221 文献标识码：A STUDY ON A NEW AND RAPID HEAT．TREATMENT STUDY ON A NEW AND RAPID HEAT-TREATMENT PR0CESS FOR FABRICATING LEAD ZIRCONATE PROCESS FOR FABRICATING LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM TITANATE THIN FILM