基于类V型柔性铰链的微位移放大机构.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 25 　 4 　 Vol.25　No.4 　 　　　　　　 　　　　　 　　　　　O ticsandPrecisionEnineerin 年 月 p g g 2017 4 　 　 　 A r.2017 p 文章编号 ( ) 　1004-924X201704-0999-10 基于类 型柔性铰链的微位移放大机构 V ∗ , 刘 敏 张宪民 　 ( , ) 华南理工大学 广东省精密装备与制造技术重点实验室 广东 广州 510641 : , 。 摘要 采用新型高精度类 型柔性铰链设计了柔性微位移放大机构 以减小该类机构的寄生运动并提高其动力学性能 V ; , 对类 型柔性铰链与最常见的高精度直圆型柔性铰链的性能进行了比较 在考虑柔性铰链转动中心偏移量的基础上 V 基于弹性力学和材料力学理论推导了基于类 型柔性铰链和基于直圆型柔性铰链的两类二级杠杆式微位移放大机构 V 。 , , , 的放大比 采用 ANSYS软件 建立了放大机构的有限元模型 验证了位移放大比的理论推导 并对上述两类放大机构 、 。 : 的位移放大比 寄生运动和固有频率进行了仿真和比较 有限元分析结果显示 基于类 型柔性铰链的放大机构有着 V , 。 更小的寄生运动和更高的固有频率 且前 阶固有频率分别是基于直圆型柔性铰链放大机构的 倍和 倍 最 2 1.68 1.41 , 。 : 后 采用微视觉测量系统测量了两类放大机构的位移放大比和寄生运动 结果表明 基于类 型和直圆型柔性铰链放 V 、 、 , 大机构的放大比和相对寄生运动比分别为 和