扫描电子显微镜的扫描电路研制-上海师范大学学报.PDF

4 1 2 ( ) Vol ． 4 1 ，No ． 2 第 卷第 期 上海师范大学学报 自然科学版 2 0 1 2 4 Journal of Shanghai Normal University (Natural Sciences) Apr ． ，2 0 1 2 年 月 扫描电子显微镜的扫描电路研制 * ， ， 涂晶晶 忻云龙 谢东珠 ( ， 200234) 上海师范大学数理学院 上海 : 、 、 ， 摘 要 报导了采用高速 高精度 低噪声的数模转换器设计扫描电子显微镜的扫描电路 其 106 ， ， 扫描速率可达到每秒 像素 讨论了电路中的噪声对图像分辨率的影响 提出了一种矫正扫 ， DXP － 10 ， 描线圈电感所引起的电流非线性的方法 应用到扫描电子显微镜 中 得到了较好的 扫描图像． : ; ; 关键词 电子显微镜 模拟电路 噪声抑制 : : : 中图分类号 TH 742 ． 9 文献标识码 A 文章编号 1000-5137 (2012)02-0122-06 0 引 言 19 ， ． 1926 世纪末发现轴对称磁场具有聚焦电子束的效应 类似于玻璃透镜对可见光的聚焦作用 到 Hans Busch ， 年 从理论和实验上对这种效应进行了系统的阐述 使得这一效应很快地用于电子显微镜的 ［2 － 3］． ，Ruska Knoll 1932 ［3］． 设计 利用这一效应 和 在 年研制成世界上第一台透射式电子显微镜 随着技 ， 1965 ． 80 ， 术的发展 扫描电子显微镜在 年问世 经过近 年的发展 目前电子显微镜在国外已经发展到一 ． 20 70 ， 个很高的水平 中国在 世纪 年代对扫描电子显微镜进行研究 但由于种种原因使得电子显微镜的 ， ． 研制进展很慢 目前我国的电子显微镜研制水平与国外先进水平还有相当的差距 : ． : 、 电子显微镜可分为两类 扫描电子显微镜和透射电子显微镜 其主要组成部分由 电子枪 电子光学 、 、 ． 、 系统 图像采集 显示系统和真空系统等组成 电子显微镜的图像分辨率和清晰度受到电子束斑的大小 、