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显示用透明导电氧化物2009.pdf

Harm Tolner等:显示用透明导电氧化物 文章编号:1006—6268(2009)01-0013—05 显示用透明导电氧化物 Harm Tolnerl。BernardFeldman2,DouglasMcLean3,Chris Cordin94 (1.Tolner Technology,荷兰艾恩德霍芬;2.FeldmanTechnology,美国加利福尼亚州; FlatGlassNorth 3.美国加利福尼亚州;4.AGC America公司。美国田纳西州) 岔譬fornl∞^~oll口m∞pl∞黟精连 摘要:/vff]还在继续寻求一种用于平板显示器的具有成本效益的氧化铟锡(ITO)替代品。本 文介绍了一种实用的形成氟掺二氧化锡(FTO)高精确度图案的解决方案,使得FTO在PDP中 成为一种很具吸引力的ITO替代品。 关键词:氧化铟锡;氟掺二氧化锡;透明导电氧化物;等离子显示器 中图分类号:TN391文献标识码:A for ConductiveOxides Transparent DisplayApplications Harm Tolnerl,Bernard McLean3,Chris Feldman2,DouglasCordin94 (1。Tolner Technology,Eindhoven,Netherlands;2。FeldmanTechnology,California,U。S。氏 FlatGlassNorth 3.California,U.S.A;4.AGC America,Inc.,Tennessee,U.S.A) Abstract:Thefora for tin search cost—effective indiumoxide(ITO)for replacement continues.Thisarticledescribesa solutionof flat-panel practical displays high-accuracy of tin FTOanattractive forITO patterningfluorinedopedoxide(FTO),makingreplacement forPDPs. Keywords:ITO;FTO;TCO;PDP 透明导电氧化物(TCO)被广泛地应用于太阳能 电池,以及作为平板显示器(FPD)、电磁屏蔽窗户、触 敏控制面板、冰箱中的低辐射窗户和冷热反射

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