玻璃基板清洗程序.PDFVIP

玻璃基板清洗程序 1. 基板處理: 本實驗所使用的玻璃基板型號是B270 ，因為基板買來時都是大片的，所以可視  需要的大小自己切或請玻璃工廠的師傅切割。  2. 清洗步驟: 使用丙酮 (Acetone)在超音波振盪器中清洗十分鐘，溶解並去除表面的油脂或其 它有機雜質污染。    再以甲醇 (Methanol)在超音波振盪器中清洗十分鐘，溶解並去除表面殘留的丙酮 污染。    用異丙醇 (Isopropyl alcohol)在超音波振盪器中清洗十分鐘，溶解並去除表面的 油脂或其它有機雜質污染。 (此步驟非必要，視實驗需求。)(註 1 ，2) 將玻璃基板置入去離子水(Deionized water)，並用超音波震洗十分鐘，以清除 殘餘