圆锥量规锥度的高精度光学干涉法测量 (1).pdfVIP

第 19卷 第 11期 光学 精密工程 VoI．19 No．11 2011年 11月 OpticsandPrecisionEngineering NOV．2O11 文章编号 1004—924X(2011)11—2551—07 圆锥量规锥度的高精度光学干涉法测量 康岩辉 ，张 恒 (中国计量科学研究院，北京 100013) 摘要：针对超精密数控机床对圆锥量规锥度高精度测量的需求，研究了一种将 “大数”和 “小数”相结合，准确测量圆锥量 规锥度的方法。介绍了锥度测量系统的基本原理及组成，给出了实验测量结果，分析了测量系统的不确定度。该测量方 法利用最大分度间隔误差为 0．10的多齿分度 台构成高准确度分度系统保证测量 “大数 ”部分的准确性，采用激光偏振干 涉装置及精密回转工作台组成小角度测量系统保证测量 “小数”部分的精度，而双光束 白光干涉系统实现了测量位置的 精确定位。实验和分析结果表明，该方法在不确定度置信因子 k为 2时，锥度测量系统的扩展不确定度约为 0．24，优于 0．3，可实现 圆锥量规任意锥度的高精度测量 。 关 键 词 ：光学干涉法；圆锥量规 ；锥度测量 中图分类号 ：TB922：TH744．3 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2551 Highprecisionmeasurementoftaperfortapergauge byopticalinterferencemethod KANG Yan—hui ，ZHANG Heng (NationalInstituteofMetrology，Beijing100013，China) *C0rr8s 0 igauthor，E-mail：yanhuikang@‘163．corn Abstract：Forultra—precisionNumericalContro1(NC)machinetoolsinadvancedmanufacturingindus— try，ahighprecisionmeasuringmethodforthetaperofatapergaugewasproposedbycombiningthe integralandfractionalpartstogether．Theprimaryprincipleandthecompositionofthesystem were described，and the experimentalmeasurementofa tapergaugewas implemented．M oreover，the measurementuncertaintyofthesystem wasanalyzed．Inthismethod，thehighprecisionindexingsys— tern containingamulti—toothindexingtablewithanaccuracyof0．10 wasusedtoensuretheprecision andreliabilityoftheintegralpart，andthelaserpolarizationinterferencedeviceandaprecisionrotary tablewascombinedintoananglemeasuringsystem to accuratelymeasurethefractionalpart．Then， thedual—beam whitelightinterferencesystem wasusedforanaccuratepositioning．Theexperiment andanalysisresultsindicatethatthemeasurementuncertaintycanbe1essthan0．3”whentheuncer— taintyconfidencelevel(愚)is2．Themethodcanrealizethehighprecision taper