基于LabVIEW与PLC的扩散炉供气控制系统.pdfVIP

《电气 自动化)2014年第 36卷 第4期 — 自动控制系统与装置 AutomaticCentreISystems＆ Equipmen 基于 LabVIEW 与 PLC的扩散炉供气控制系统 方群 。杜鹏程 (1．上海尊优 自动化设备有限公司，上海 201805；2．上海大学 机电工程与 自动化学院，上海 200072) 摘 要：基于LabVIEW与PLC，对扩散炉供气系统的控制进行了研究。针对扩散炉供气系统的要求，从供气系统 的结构出发，以 LabVIEW为开发平台，结合串口通信协议，开发了一种扩散炉供气控制系统，实现了对供气系统的控制和实时监测。实验结果 表明，控制系统达到了预期的设计效果，具有工程应用价值。 关键词：LabVIEW；PLC；扩散炉；供气系统；控制 DOI：10．3969／j·issn．1000—3886．2014．04．025 [中图分类号]TB492 [文献标志码]A [文章编号]1000—3886(2014)04—0074—02 GasCentrelSystem forDiffusionFurnacesBasedonLabVlEW andPLC FANGQun，DUPeng—cheng (1．ShanghaiGenie—RobotAutomaticCo．，Ltd．，Shanghai201805，China； 2．Electro—mechanicalEngineeringandAutomationCollegeofShanghaiUniversity，Shanghai200072，China) Abstract：Basedon LabVIEW andPLC，thispaperstudiescontroloverthegassupply system ofdiffusion fumaces．W ith respectto the requirementonthe gas supplysystem ofdiffusionfurnaces，based onthestructureofthe gassupplysystem ，thispaper，using LabVIEW asdevelopmentplatform andtakingintoaccounttheserialportcommunicationprotocol，developsacontrolsystem forhte gassupplycontrolsystem ofthediffusionfurnace，thusrealizingthecontrolandreal—timesupervisionoverthegassupplysystem． Theexperimentalresultshowsthatthecontrolsystem achievesexpectedeffectofdesignandthathas engineeringapplicationvalue． Keywords：LabVIEW ；PLC；diffusionfumace；gassupplysystem；control O 引 言 过一个压力开关，其作用是确保工作时气体压力达到压力开关的 太阳能电池制作过程中，扩散制作P—N结是晶体硅太阳能 设定值。压缩空气通过支路上的电磁阀来控制气动阀的开启和 关闭。大氮、小氮和氧气的流量大小通过质量流量控制器来控 电池的核心，也是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序，最 大问题在于如何保障扩散的均匀性 。因此 ，对于工艺气体浓度 制。大氮的第一个支路通过一个常开电磁阀直接通人炉管内，其 作用在于开机前和关机后清除炉内的残余气体。 的精确控制显得尤为重要。 在过程控制中，由于工业现场非常分散，I／0点数众多 ，各种 压缩空气 小 大N】 仪表的工作环境非常恶