mems及微机械加速度计可靠性研究 - 中北大学微米纳米技术研究中心.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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mems及微机械加速度计可靠性研究 - 中北大学微米纳米技术研究中心

电子产品可靠性与环境试验综述与展望 ELECTRONICPRODUCTRELIABILITYANDENVIRONMENTALTESTING 年月第卷第期 200610 24 5 MEMS及微机械加速度计可靠性研究★ , 许建军1 2 2 1 2 孔学东李斌师谦 , , , 华南理工大学物理科学与技术学院微电子研究所广东广州 ( , ; 1. 510640 信息产业部电子第五研究所广东广州 , ) 2. 510610 摘要由于器件的应用日益频繁其可靠性研究就显得十分重要介绍了引起可靠性问题的原因 : MEMS , 。。以微机械加速度计为例指出了该加速度计的可靠性问题以及对其可靠性测试研究的内容 , , 。关键词微电子机械系统可靠性微机械加速度计 : ; ; 中图分类号: ; + 文献标识码: 文章编号: ( ) TN389TP271.2 A 1672 , 1 2 2 1 2 , , , XUJian-junKONGXue-dongLIBinSHIQian ( , , ; Guangzhou510640China , , ) 2.CEPREIGuangzhou510610China : Abstract , reliabilitytestaspectsareintroduced. : ; ; MEMSreliabilitymicromechanicalaccelerometer Keywords 引言定义与应用 1 2 MEMS