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5.3 压电式传感器的测量电路 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上,正电荷集中在两侧的电极上,传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大,故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。 串联方法正电荷集中于上极板,负电荷集中于下极板,传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大,故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 5.3.2 压电传感器的等效电路 当压电晶体承受应力作用时,在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。故可把压电传感器看成一个电荷源与一个电容并联的电荷发生器。 值得注意的是: 5.3.3 压电式传感器的测量电路 传感器原理与应用——第五章 5.3.1 压电晶片的连接方式 在实际应用中,由于单片的输出电荷很小,因此,组成压电式传感器的晶片不止一片,常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。粘结的方法有两种,即并联和串联。 (a)并联 + + - - - + (b)串联 + - - + 在上述两种接法中,并联接法输出电荷大,本身电容大,时间常数大,适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。 而串联接法输出电压大,本身电容小,适宜用于以电压作输出信号,并且测量电路输入阻抗很高的场合。 (a) q Ca 其电容量为: 当两极板聚集异性电荷时,板间就呈现出一定的电压,其大小为 因此,压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca的 串联电路,如图 (b)。 Ua Ca (b) 图5-14 压电传感器的等效电路 (a) 电压源; (b) 电荷源 实际使用时,压电传感器通过导线与测量仪器相连接,连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后,压电传感器完整的等效电路可表示成图5-15所示的电压等效电路(a)和电荷等效电路(b)。这两种等效电路是完全等效的。 图5-15 压电传感器的完整等效电路 (a) 电压源; (b) 电荷源 利用压电式传感器测量静态或准静态量值时,必须采取一定的措施,使电荷从压电晶片上经测量电路的漏失减小到足够小程度。而在动态力作用下,电荷可以得到不断补充,可以供给测量电路一定的电流,故压电传感器适宜作动态测量。 由于压电式传感器的输出电信号很微弱,通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中,经过阻抗交换以后,方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中。(其中,测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器。) 前置放大器的作用:一是将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出;二是放大传感器输出的微弱电信号。 前置放大器电路有两种形式:一是用电阻反馈的电压放大器,其输出电压与输入电压(即传感器的输出)成正比;另一种是用带电容板反馈的电荷放大器,其输出电压与输入电荷成正比。由于电荷放大器电路的电缆长度变化的影响不大,几乎可以忽略不计,故而电荷放大器应用日益广泛。 图 5-16 压电传感器接放大器的等效电路 (a) 放大器电路; (b) 等效电路 1. 电压放大器(阻抗变换器) 在图5-16(b)中,电阻R=RaRi/(Ra+Ri),电容C=Cc+Ci,而ua=q/Ca,若压电元件受正弦力f=Fm sinωt的作用,则其电压为 (5-20) 式中: Um——压电元件输出电压幅值, Um=dFm/Ca; d——压电系数。 由此可得放大器输入端电压Ui,其复数形式为 (5-21) Ui的幅值Uim为 . 输入电压和作用力之间相位差为 (5-22) (5-23) 在理想情况下,传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大,即ω(Ca+Cc+Ci)R1,那么由式(5-22)可知,理想情况下输入电压幅值Uim为 上式表明前置放大器输入电压Uim与频率无关,一般在ω/ω03时,就可以认为Uim与ω无关,ω0表示测量电路时间常数之倒数,即 (5-24)
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