晶圆厂气体管路施工零风险作业.PDFVIP

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2017-07-03 发布于江苏
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晶圆厂气体管路施工零风险作业.PDF

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晶圆厂气体管路施工零风险作业

晶圓廠氣體管路施工零風險作業 None risk of gas piping engineering 世界先進積體電路股份有限公司廠務工程部：陳維民、蔡富光 E-mail ：wmchen@.tw fktsai@.tw 名詞解釋 Specialty Gas Supply System Tool 1 Tool 2 Tool 3 Tool 4 VMB 1 GC 1 VDB Tool 5 Tool 6 VMB 2 DP :Distribution Panel GC 2 VDB :Valve Distribution Box GC 3 DP VMB :Valve Manifold Box VMP :Valve Manifold Panel Facility Fab VMB/P到機台這段配管簡稱為二次配管。 2/20 台灣科學工業園區科學工業同業公會摘要及前言晶圓代工過程中使用多種特殊氣體，針對機台汰舊換新，產能擴增，Layout變動，製程變更時，氣體供應設備亦需進行必要之新增修改及拆除。本文針對園區內危害性較高的氣體管路拆切除作業進行討論，使此項作業達到施工零風險之目標，尚祈各位同業先進指導。本文將針對二次配管作業流程中拆切除管路部分加以探討，並對高危害風險之移除舊管路拆切作業做一詳細描述，藉以確保作業品質，以防止並降低施工所造成之風險。並以本廠2005年歲修時進行之DP04氣櫃移除工程實際經驗，提供各位先進分享及參考。 3/20 台灣科學工業園區科學工業同業公會主題選定世界先進廠區分為 A 、B兩廠，其中A廠前身為次微米實驗室，建廠至今已有十餘年之久，故早期廠內DP已經有閥件及外觀腐蝕之情形。 DP所配置之管路皆為單層管，於氣體管路鏽蝕後，有漏氣危害環境之風險。 DP New Old 4/20 台灣科學工業園區科學工業同業公會