用于Raman光谱与微纳米结构同步检测的Raman-AFM系统研究.pdfVIP

第32卷 ，第4期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．32，No．4，pp993-996 2012年 4月 SpectroscopyandSpectralAnalysis April，2012 用于 Raman光谱与微纳米结构同步检测的Raman—AFM 系统研究 史 斌，章海军，吴 兰，张冬仙 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027 摘 要 研究和发展了一种将微区拉曼(Raman)光谱检测与原子力显微镜(AFM)微纳米扫描成像相结合的 新型Raman-AFM技术。设计了Raman光谱与AFM扫描成像的原位检测探头；研制出相应的Raman-AFM 系统；利用该系统，对 ZnO纳米颗粒和Ti02纳米薄膜开展了微区Raman光谱与微纳米结构的检测实验。研 究表明，所获得的Raman光谱检测结果与理论值良好吻合，同时，AFM扫描检测得到的图像很好地表征了 样品的微纳米结构，从而实现了微区Raman光谱与 AFM 图像的原位及同步检测，验证了这一技术的可行 性，为 Raman光谱技术与微纳米技术领域的实际应用提供了技术基础。 关键词 Raman光谱；AFM；微区；原位；微纳米结构 中图分类号：TB96 文献标识码：A DOI：10．3964／j．issn．1000—0593(2012)04-0993—04 得样品在某一波长或某一波段的Raman光谱和微纳米结构。 引 言 不过 ，国外现有的Raman-AFM系统仅适用于小样品、操作 十分复杂、价格相当昂贵，从而在某种程度上制约了其进一 拉曼 (Raman)光谱_1 能够提供样品的化学成分和物质 步推广应用。 结构等信息_3]，并可对样品进行定性或定量分析，具有制样 旨在研究发展一种新型的Raman-AFM技术及系统，我 简单、灵敏度高、适用范围广等特点，在物理学、化学、材料 们采用将微区Raman光谱探头与探针扫描式AFM探头相结 学、高分子科学、生物医药及地质等领域的应用前景十分广 合的原位检测探头设计 ，具有分辨率高、光谱检测范围广、 阔。另一方面，随着微纳米技术的快速发展，扫描电子显微 结构新颖、操作简便、可同时适用于小样品和大样品等特 镜 (SEM)、透射 电子显微 镜 (TEM)、原子力显微镜 点，可望在光谱技术及微纳米技术等领域获得广泛应用。 (AFM)[4]、近场光学显微镜 (SNOM)c]等技术，以其分辨率 高 (纳米乃至原子量级)、适用范围广 (导体、半导体与非导 1 原理与方法 体)、工作环境可选(气相、液相、真空)等特点，在微纳米技 术领域得到广泛应用。 Raman光谱技术是一种基于拉曼散射效应的振动光谱 传统的Raman光谱检测技术只能提供样品的Raman光 技术。当光线入射到物质或样品时，会发生光的散射，其中 谱信息；同样，利用常规的微纳米检测技术只能获得样品的 大部分是弹性散射 ，散射后的光波长不变，称为瑞利散射； 微纳米结构信息。而在许多特殊领域，往往需要同时获得 极少数散射属于非弹性散射，散射光波长发生了改变，这一 Raman光谱和微纳米结构，这就对 Raman光谱技术的研究 散射现象称为 Raman散射。Raman散射中波长变长的散射 和应用提出了新的要求。研究开发将 Raman光谱检测技术 称为斯托克斯散射，波长变短的散射称为反斯托克斯散射， 与其他检测技术相结合的新技术及新系统 ，成为近年来国内 一 般而言，前者的强度远大于后者，Raman光谱仪大多利用 外的一个研究热点，出现了与各种光学探测方法相结合的 斯托克斯散射现象。