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维普资讯 1989年12月 堂 堡 —— 第6期 总第84期 采用光电技术测量微细 线宽的探讨 戚元燧 (华中理工大学汉 口分院) 【提要】在显微物镜的成象光路 中，增加一块振荡反射镜，使被测缦宽的放大 象相对 窄缝扫描，将 光学边界信息转 变为梯 形 电脉 冲。经过 电路 处理。得到两个史 彤 电脉冲。填 充高频矩形脉冲测量两尖彤脉冲之间的时间问膈，进而求得被划线宽 的宽度。 推导 7被测线宽与光学性能参数，结构参数，振 荡鳆率瞳及高额矩井；睬冲数之 问的函数关 系式。根据显徽镜 的基本性能，分析 影 响测量误差 的各种 因素，并进 行实倒计算 。最后提 出一个框图，说 明线宽测量仪 系兢 中各功能之 问的关系 。 和超 塑壁薹盛皇墅叁成度的埋高，左光刻 板过程中 盟微米和亚微 磊 西的 圭堕法 求已是兰 塾 目前已有二些测量方法，如j 扫射面 ■磊 { ii两量等等。本文藁 ：羞 技 ”’ 探讨微细尺寸测量 的原理和方法。 一 、 测量原理 圈 2 如图 l所示，被铡线宽经照明后，通过物镜 l成一个放大的象， 在显微物镜的成象光路 中，设置一块反射镜2，使放大的象落在象平面3上，在家平面3处放置一个窄缝 ， 其方 向 ·6 ’ 维普资讯 与线的长度方向平行。反光镜绕着一条过0 点并垂直图面的轴转动，这样就形成了放大的象 沿其宽度方向相对窄缝扫描。窄缝后面放置光传惑器4，得到一个与线宽相应的扫描电信号 (如图2)。时间T 对应光学边界K ，时间T：对应光学边界Kz，时间间隔T：Tt—T ，它对 应线宽K K 。测得脉冲信号的时间间隔，就能求得相对应的线宽K Kz。 I 二、振荡反光 镜 图1所示的光路中，反射镜转动的角度为a，光线扫描的角度为2a，放大象的扫描长度为 H。如果从0点到象罚 的距离为L ，它们有 以下关系： = 吉arc畦 假设被测线宽的宽度为b，显微物镜的放大率为B，放大象的宽度为B．b，窄 缝 宽度 为 ho光线通过窄缝扫描的长为H=8．b+h。 (1)式可写成： 、 a ： 吉 (2) 式中H 《 ，t Ⅱ， (2)式可写成t a = 导 一 (2，) 在b=1m～5Om，0=20～8O，h=lP．m，L2=100ram的范围内，Ⅱ… =l。844·1。相对 误差为0．05 。 因为扫描角度很小，所以反射镜扫描不采用旋转反射镜，采用锯齿 形 (或 三 角 形 波)振荡反射镜。它保证正向转动时，转角与时间成线性关系。振动的幅角为Ⅱn，振动额率 为v，周期为T ，波形如图3所示。被测线宽对应 的扫描角度为 a，电信号