质谱计校准技术发展现状.pdfVIP

真空与低温 第 19卷 第 1期 56 Vacuum Cryogenics 2013年 3月 质谱计校准技术发展现状 任 国华 ，张涤新，赵 澜 (兰州空间技术物理研究所，国防科技工业真空一级计量站，甘肃 兰州 730000) 摘要：作为残余气体分析器和分压力测量的主要仪器，四极质谱计的使用越来越引起重视，使得其校准技术研 究成为真空计量领域的一个热点问题，本文将从最初美国真空学会推荐的四种四极质谱计校准方法开始 ，讨论研究 美国国家标准技术研究院(NIST)、德国联邦物理研究院(PTB)、意大利国家计量研究院(IGMC)、日本国家工业科学 技术研究院(AIST)直到我国的清华大学和兰州空间技术物理研究所在四极质谱计校准技术方面的研究成果 ，分析 这几个实验室方法的优缺点，为国内外同行提供参考。 关键词：质谱计；校准系统；分压力测量 中图分类号：TB774．3 文献标志码 ：A 文章编号：1006—7086(2013)01—0056—06 DOI：10．3969／j．issn．1006—7086．2013．01．011 INTRoDUCE THEDEVELoPMENT oFTHE CALⅡIRATIoN TECHNoLoGY FoR MASSSPECTRoM ETER REN Guo·hua，ZHANG Di—xin，ZHAO Lan (LanzhouInstitutionofPhysics，PrimaryStandardLaboratoryofVacuum COSTIND，Lanzhou730000，China) Abstract：Astheresidualgasanalyzerandthepartialpressuremeasurer，themassspectrometerhasbeenpaidmoreand moreattention。SOitscalibrationtechniqueiSbecomingahotissueinthefieldofvacuum measurement．Thisarticlefrom the initial fourtypesofmassspectrometercalibrationmethodrecommendedbyAmericanvacuum societybegintodiscussthecali— brationtechniquetoothermajorlaboratorieswhichincludesNIST，PTB，IGMC，AIST，TsinghuauniversityandLanzhouIn— stituteof Physics．Finally，itwillanalyzetheadvantagesanddisadvantagesoftheselaboratoriesmassspectrometercalibra— tionsystems，whichisprovidingareferencefordomesticandforeigncounterparts． Keywords：massspectrometer；calibrationsystem ；partialpressuremeasurement 1 引言 随着真空技术的发展，真空系统中气体总压力的测量已经不能满足 日常工作需求，而分压力的测量就越 来越引起人们的注意。分压力的测量一般是通过质谱计进行测量。为了让质谱计能够准确的输出压力值， 就必须对质谱计进行校准。因此需要开展质谱计校准技术的研究。 质谱计的校准技术是 目前真空计量学的一个热点课题。一般来说，质谱计的测量不确定度依赖于两个 因素：第一是校准过程中使用参考标准的准确性和校准系统的不确定度；第二是质谱计固有的性能参数。所 以质谱计的校准技术研究就要从校准系统的设计，质谱计参数的设置等方面进行 ¨J。 2 国内外的发展状况