精密绕射干涉式光学尺回授定位量测系统之研制.PPT

精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 系統架構 量測原理 量測原理 量測原理 * 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 平台位移量測架設示意圖 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 L.D.G.I.光學位置量測系統之架構圖 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 入射光 觀察點 移動中散射表面的Doppler效應 d ： 光柵常數 q ： 繞射階數 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 光學系統示意圖 在光感測器處所接收到拍頻訊號的光強度為： ：因Doppler頻移而產生的拍頻訊號相位變化。 干涉條紋強度變化一週期時，拍頻訊號的強度也隨之變化一個週期，其相位變化為2π： 精密繞射干涉式光學尺回授定位量測系統之研製 線性光柵感應器為1200條/mm (即光柵常數d=0.834μm)，因此當光柵移動0.417μm (d/2)，則拍頻訊號將有一個週期(2π)的相位變化。 介紹整個光柵干涉與細分割的架構： 1.利用光柵干涉儀將光柵的位移轉成電子訊號。 2.將電子訊號稍微加以處理後，進入細分割電路加以細分與計數。 3.最後透過8255卡將資料傳入電腦加以處理與顯示。 介紹整個光柵干涉與細分割的架構： 1.利用光柵干涉儀將光柵的位移轉成電子訊號。 2.將電子訊號稍微加以處理後，進入細分割電路加以細分與計數。 3.最後透過8255卡將資料傳入電腦加以處理與顯示。 量測的基本原理為繞射光柵的Doppler效應。當光柵移動時，入射點A與觀察點O所測得的頻率分別為… 經過一些簡單的推導，可得dz=d/2，表示當光柵移動d/2時，干涉條紋與光感測器的輸出會變化一個週期。 * * * 介紹整個光柵干涉與細分割的架構： 1.利用光柵干涉儀將光柵的位移轉成電子訊號。 2.將電子訊號稍微加以處理後，進入細分割電路加以細分與計數。 3.最後透過8255卡將資料傳入電腦加以處理與顯示。 介紹整個光柵干涉與細分割的架構： 1.利用光柵干涉儀將光柵的位移轉成電子訊號。 2.將電子訊號稍微加以處理後，進入細分割電路加以細分與計數。 3.最後透過8255卡將資料傳入電腦加以處理與顯示。 量測的基本原理為繞射光柵的Doppler效應。當光柵移動時，入射點A與觀察點O所測得的頻率分別為… 經過一些簡單的推導，可得dz=d/2，表示當光柵移動d/2時，干涉條紋與光感測器的輸出會變化一個週期。 經過一些簡單的推導，可得dz=d/2，表示當光柵移動d/2時，干涉條紋與光感測器的輸出會變化一個週期。