入门讲座超微量分析无机超微量分析用试药赤羽勤-日本分析化学会.PDF

超微量分析 無 機 超 微 量 分 析 用 試 薬 赤 羽 勤 子 表  検出下限（例）の推移 1 ICP MS 本年後半の入門講座は「超微量分析」です。前半の「ナ (単位ng/L ppt) ノテクノロジー」が大きさを小さくする技術だとすれば， 元素 1990 年1) 1994 年2) 2000 年3) 2003 年4) 「超微量分析」は小さな濃度や量を扱う技術になります。 ＜ ＜ ＜ ＜ 無機分析を中心に，単分子計測，環境分析も含めて平易に Mg 1 0.1 0.1 0.1 解説していただきます。 ＜ ＜ ＜ ＜ Al 1 0.1 0.1 0.1 「ぶんせき」編集委員会 Si 500 500 500 ＜100 ＜ ＜ ＜ K 200 1 0.5 0.5 ＜ ＜ ＜ 1 は じ め に Ca 200 1 0.5 0.5 ＜ ＜ ＜ ＜ Ti 5 5 5 1 1980 年に入り半導体産業では，製造プロセスにおけ ＜ ＜ ＜ ＜ Cr 5 1 0.5 0.5 る超清浄化の重要性が認識され，高純度化により材料の ＜ ＜ ＜ ＜ Mn 1 1 0.5 0.5 性能を向上させるという動きが活発になり1) ，薬品，純