Al_2O_3化学气相沉积工艺研究.pdfVIP

1 8 5 V ol . 18 . N o . 5 1 9 9 7 10 N ucle ar P ow er E ng ineering O ct . 1 9 9 7 Al O 2 3 ( , , 610005) A lCl3H2CO2 ( CV D) , CV D , T iC 316L SSSEM Xr ay : A l2 O3 : Al2 O3 A lCl3 2% , CO2 10% , 1 A l2 O3 , A l2 O3 , [ 1 ~ 4 ] , A l2O3 , A l2 O3 , , 2 3 , A l O T iCT iN ZrO2 Si3 N4 T iB2 A l2 O3 , A l2O3 , CV D , A lCl3H 2CO2 , ( ) Al2 O3 2 Al2 O3 , A l2 O3 : 2A lCl3 + 3H2 O A l2 O3 + 6HCl ( 1) 2A lCl3+ 3H 2+ 3CO2 A l2O3 + 3CO + 6H Cl ( 2) , 1 , A l2 O3 , , A l2 O3 , , A l2O3 2 A l2O3CV D , , A lCl3H 2CO2 A l2 O3 ( 1 ) , A l2 O3 , A l2 O3 ( A l2 O3 1996 1 4 , 1996 9 25 478 V ol . 18. N o . 5. 1997 A l2 O3 A l2 O3 !A l2 O3 ) , , !A l2 O3 , , ,