透明软质薄膜的表面形貌测量.pdfVIP

第7卷 第2期 中国光学 V01．7 No．2 2014年4月 ChineseOptics Apr．2014 文章编号 2095-1531(2014)02-0326-06 透明软质薄膜的表面形貌测量 刘淑杰 ，张元良，张洪潮 (大连理工大学机械工程学院，辽宁大连116024) 摘要：为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件 的特性，根据其柔软、透明的特征提出应用光干涉法和机械探针相结合的方法进行测量，同时阐明了使用此方法进行表 面形貌测量的优点 ，并据此原理搭建了光学多探针表面形貌测量装置 ，光学测量部分采用 白光干涉计 ，探针部分采用拥 有8只球型探头的多点悬臂测量探针。然后应用此装置对标准刻槽试件和半透明光造型薄膜试件进行了测量。测量 52nm的标准刻槽试件时得到了测量误差小于2％，标准偏差小于 1nm的结果，表明本装置可以达到高精度测量表面形 貌的目的。通过测量高约400nm的树脂材料证实了此装置可以克服多重反射的影响测量透明薄膜的表面形貌。 关 键 词：表面形貌测量；光刻胶；白光干涉；多点球形探针 中图分类号：0436．1；TB92；TP394．1 文献标识码 ：A doi：10．3788／CO0326 Profilemeasurementofthin transparentsoftfilm surface LIUShu-jie ，ZHANGYuan—liang，ZHANGHong-chao (SchoolofMechanicalEngineering，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) Correspondingauthor，E-mail：liushujie@dlut．edu．ca Abstract：Inordertorealizeahigh-precisionandwildareameasurementforthesurfaceprofileofphotoresist， westudiedonanewmeasurementmethod．First，basedonthephysicalpropertiesofsoftthinfilm，wepro- posedamethodcombiningwhitelightinterferometerwithmechanicalballcantilevertomeasurethesurface profile．Thenusingthissystem，wedidthemeasurementexperimentsonthenotchandtransparentmateria1． Theresultsshowthatofrthenotch．theprecisionofthesystem~measuringerrorislessthan2％ andthemeas- uringstandarddeviationislessthan1nm ，indicatingthatitispossibletomeasurethesurfacewithhighaccu— racy．Forthetransparentmaterial，itshowsthatwiththissystem theeffectofmultiplereflectionon profile measurementcanbeovercome． Keywords：surfaceprofilemeasurement；photoresist；whitelightinterferometer；multi-probe 收稿 日期 ：2013—10—16；修订 日期：2014-02—18 基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目(No；高等学校博士学科点专项科研基金新教师基金资助项 目 (No．20120401120033) 第2期 刘淑杰