钢板上沉积锌合金镀层的PVD试验设备研发 (1).pdfVIP

试验 研究 钢板上沉积锌合金镀层的PVD试验设备研发* 习中革，张启富，江社明 (中国钢研科技集 团有限公司 先进金属材料涂镀 国家工程实验室，北京 100081) 摘 要 ：开发 了一种采用物理 气相 沉积 (physicalvapordeposition，简称 PVD)技术沉积锌合金镀层 的多功能试验设备 ，该设备集成 了磁控溅射、蒸镀及退火功能；同时，描述 了其功能、组成及工艺参数 ，可 用于制备新颖的锌合金镀层 ，对 于深化锌合金镀层的性能研 究和促进钢板 用腐蚀 防护镀层新材料的研发 具有重要意义。 关键词 ：锌合金镀层 ；物理气相沉积 ；退火；腐蚀防护；试验设备 中图分类号 ：TB37 文献标志码 ：A DevelopmentofLaboratoryEquipmentsforZincAlloyCoatingbyPVD onSteelSheet xIZhongge，ZHANG Qifu，JIANG Sheming (NationalEngineeringLabofAdvancedCoatingTechnologyforM etalMaterials，ChinaIronandSteelResearch Institute Group，Beijing100081，China) Abstract：A multi—functionallaboratoryequipmentforzinc—alloycoatingdepositedbyPVD(physicalvapordeposition) wasdeveloped．Zincalloycoatingdepositedbyevaporationormagnetronsputteringcanberealizedandannealingcanbecar— riedoutaswel1．Functions，structureandprocessparametersweredescribed．Theexperimentsshowedthatthelaboratory equipmentcanbeusedtodepositinnovativezincalloycoating，itplaysagreatroleindeepeningperformanceresearchofzinc alloycoatingandpromotinginnovativecorrosion-resistantcoatingdevelopment． Keywords：zincalloycoating，PVD，annealing，corrosionresistance，laboratoryequipments 物理气相沉积 (PVD)技术是通过高温加热靶 锌提供 了良好的解决思路，即真空环境沉积极大地 材 (待镀 的目标材料)，使之变为气态，或者在真空中 减轻了镀层的氧化 ，使沉积元素比例可控 ，所制备的 通过电子、离子及光子等荷能粒子 ，从靶材溅 出相应 锌合金镀层能够 以更薄的镀层和更小 的用锌量 ，更 的原子或分子等；还可以通过等离子体弧和电场 ，使 好地满足用户对合金镀层钢板耐蚀 、焊接 、成形及涂 靶材气化并电离，从而在工件表面沉积成固相膜 。 装 的要求 ，有效地规避了当今热 (电)镀锌钢板在应 作为一种生态兼容性好和功 能强大的沉积技 用 中所暴露 出的不足，符合未来镀层产品’factor4l1] 术 ，PVD技术可 以灵活地进行镀层设计 ，靶材及基 (4倍系数 ，即镀层产品具有双倍的服役寿命和一半 材多样化 。PVD技术沉积的膜可以是单质金属 、化 的资源消耗)的先进概念 ，契合用镀层材料的功能解 合物以及合成膜 ，也可 以是复合膜、梯度膜或多层 决后续应用需求 的先性能、后加工的核心理念_2；其 膜 。其可用来制备单 晶、多晶、非 晶以及纳米材料 ，