高纯氧化铝陶瓷表面形貌对Mo-Mn法金属化封接强度的影响.pdfVIP

· 陶 瓷 金 属 封 接 和 真 空 电 子 与 专 用 金 属 材 料 分 会 年 会 专 辑 · 高纯氧化铝陶瓷表面形貌对 Mo—Mn法金属化 封接强度的影响 尚阿曼 ，高 鸣 ，黄亦工 ，张 巨先h。 (1．北京真空电子技术研究所 ，北京 100015；2．大功率微波 电真空器件技术国防科技重点实验室，北京 100015) EffectofSurfaceM orphologyontheSealingStrengthofHighPurityA1203 Ceram icbyM olybdenum—ManganeseProcess SHANGA—man ，GAO Ming ，HUANG Yi—gong，ZHANG Ju—xian。 (1．BeijingVacuumElectronicsResearchInstitute，Beijing100015，China； 2．Vacuum ElectronicsNationalLaboratory，Beijing 100015，China) Abstract：In thispaper，tWO kindsofhigh purity A12O3ceramicswith differentgrain sizeswere preparedatdifferentsinteringtemperatures．HighpurityA12O3sampleswithdifferentsurfacemorphology wereobtainedbysurface—machiningmethods．Thesurfaceroughnesswasmeasuredusingprofiletesting instrumentandthesurfacemicrostructurewasanalyzedbySEM．Then，aluminaceramicssurfaceswith differentmorphologyweremetallizedrespectivelybyactivemolybdenum—manganeseprocess，andsealed with silversolder．Finally，thesealing strength wasmeasured．Theeffectofdifferentmorphologyon sealingstrength forhigh purityA12O3ceramicswasstudied．Theresultsshowedthatsealing strengthwas highestandmoreoversealingqualitywasmoststableforhighpurityA1203ceramicswithoutmachined surfaces． Keywords：HighpurityA12O3ceramics，Surfacemorphology，Hightemperaturemolybdenum—manga— neseprocess，Sealingstrength 摘要：本文通过不同烧结温度制备出两种显微结构的高纯 AlzO。陶瓷，采用四种不同的加工方式，制备出不同表面状态 的高纯 Al0。陶瓷样品。利用轮廓仪测量样品表面粗糙度 ，并利用扫描 电镜对其表面显微形貌进行分析。然后 ，将各种不同 表面形貌的高纯A10。陶瓷进行高温Mo-Mn法金属化，并用 Ag焊料进行封接。最后，测试出不同表面形貌的高纯A1。0。陶 瓷金属化封接强度 ，进而研究高纯氧化铝陶瓷表面形貌对其 Mo—Mn金属化封接强度的影响。结果发现，表面未加工高纯 Al。O3陶瓷金属化封接强度高、一致性最好 。 关键词 ：高纯 A1。0。陶瓷；表面形貌 ；高温 Mo—Mn法金属化 ；封接强度 中图分类号：TB756 文献标识码 ：A 文章编号：1O02—8935(2013)04—0027—04 随着真空电子器件朝着大功率 、小型化方 向发 究其对高纯Al。0。陶瓷高温 Mo-Mn金属化后封接 展，其对电子枪、高压、输能窗等陶瓷支撑体的要求 强度的影响，而很少研究高纯AlzO。陶瓷表面形貌 越来越高 。由于高纯 A10 陶瓷与