石墨炉原子吸收光谱法测定超高纯试剂中钙的研究.PDF

　　　　　　　　 福建分析测试 　Fuj ian A nalysis Te sting 2008, 17 ( 3) 76 石墨炉原子吸收光谱法测定超高纯试剂中钙的研究 陈　旗 (苏州市晶协高新电子材料有限公司 ,江苏 　苏州 　2 15151) 摘 　要 :研究了超高纯试剂异丙醇中痕量钙的石墨炉原子吸收光谱测定法 。制定了石墨炉原子吸收光谱法测定痕 量钙的分析程序 ,试样经挥发浓缩 ,采用标准曲线法测定 ;还确定了仪器最佳工作条件 ,原子化条件等 ,研究了共存 离子的干扰 , 回收试验及实测样品等 。同时将石墨管用氯氧化锆进行适当的处理 ,并控制合适的仪器操作条件及 升温程序 ,即可提高石墨炉原子吸收法测钙的灵敏度 ,获得了较满意的结果 。 关键词 :钙 ;石墨炉原子吸收光谱法 ;超高纯试剂 中图分类号 : O657. 31 　文献标识码 : A 　文章编号 : 1009 - 8143 (2008) 03 - 0076 - 03 Study on the D eterm ina tion of M icro - am oun t ca lc ium in Super - pure Chem ica l Reagen ts by Graph ite Furnace A tom ic A b sorp tion Spectrom etry Chen　Q i ( Suzhou J ingxie H N E lectron ic M aterial Co. ,L td, Suzhou 2 15151, Ch ina ) A b stract: W e studied the analytical condition s for calcium determ ination w ith a TA S - 990 atom ic ab sorp tion sp ectrop ho tom eter. In order to determ ine m icroamoun t calcium in sup er - p ure grade isop rop yl alcoho l, we adop ted evaporation con centration and standard cu rve m ethod. The graph ite tube wa s p rop erly p rocessed w ith zircon ium oxych loride. Together w ith the app rop riate op erating condition s and temp eratu re p rogramm ing, the sen sitivity for calcium determ ination by graph ite fur nace atom ic ab sorp tion sp ectrom etry wa s enhanced and satisfactory re su lts were ob tained. Keywords: calcium ; grap h ite fu rnace atom ic ab sorp tion sp ectrom etry; sup er - pu re chem ical reagent 引 言 带入任何杂质 。 　　超净高纯化学试剂在 电子工业中的应用主要 苏州市晶协高新电子材料有限公司生产的超 在芯片集成电路制造方面 。一是用于芯片基片在 高纯电子级异丙醇 ,主要用于电子行业 ,用做硅片 涂胶前的湿法清洗 ;二是用于芯片在光刻