超声波振动条件下磁控溅射纳米材料的超塑变形研究 - 精密成形工程.pdfVIP

第7卷摇 第3期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 精 密 成 形 工 程 摇 摇 2015年05月 JOURNAL OF NETSHAPE FORMING ENGINEERING 摇摇摇 17 超声波振动条件下磁控溅射纳米材料的超塑变形研究 蒋少松,卢振,张凯锋 (哈尔滨工业大学,哈尔滨 150001) 摘要:根据高性能纳米材料高精度成形的发展需求,介绍了磁控溅射纳米材料的组织及力学特性, 分析了磁控溅射纳米材料超塑成形的优缺点,描述了大功率超声波振动对超塑成形的促进作用。 综述了国内外超声波辅助塑性成形的发展现状及最新研究进展,提出了超声波振动辅助超塑成形 的发展趋势。 关键词:超塑成形;纳米材料;超声波振动 DOI:10.3969/ j.issn.1674鄄6457.2015.03.003 中图分类号:TG301摇 摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 摇 文章编号:1674鄄6457(2015)03鄄0017鄄04 Mechanism of Superplastic Deformation of Magnetron Sputtering Nanomaterial under the Condition of Ultrasonic Vibration JIANGShao鄄song,LUZhen,ZHANGKai鄄feng (Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China) ABSTRACT:Accordingtothe development needsof high鄄precisionforming of high鄄performancenanomaterials,thepaper introduced the microstructure and mechanical properties of magnetron sputtering nanomaterials,analyzed the advantages and disadvantagesof superplasticformingofnanomaterials,describedthepromotioneffectofhigh鄄powerultrasonicvibration on superplasticforming. Besides,the paper summarized the development status and the latest research progress of ultra鄄 sound鄄assisted plasticforming in China and foreign countries,and proposed the development trend of ultrasonic vibration assisted superplasticforming. KEY WORDS:superplasticforming;nanomaterial;ultrasonic vibration 摇 摇 开发高性能纳米材料一直是世界各国战略发展 将磁控溅射纳米材料与衬底剥离,单独作为成形材料 目标的一部分,塑性加工领域尤其是微成形领域,也 应用于塑性成形领域,尤其是微成形领域,则既可以 一直在对纳米材料的潜在应用进行着探索。 磁控溅 为磁控溅射纳米材料的应用开拓新方向,也可以为塑 射法可在低温条件下快速溅射晶粒细小、结构均匀、 性成形提供一种性能优良的纳米材料,是学科交叉、 纯度高的纳米