压电传感器的等效电路 C.PPT

第六章 压电式传感器 传感器技术 * 主要内容 压电式传感器的工作原理 压电材料和它的主要特性 压电元件的结构形式 测量电路 压电式传感器的应用 * 使用压电引信的破甲弹 压电部件 导线 药形罩 炸药 起爆装置 * 动态压力信号通过压电薄膜变成电荷量，再经传感器内部放大电路转换成电压输出。 脉搏计 ? 典型应用： ·脉搏计数探测 ·按键键盘，触摸键盘 ·振动、冲击、碰撞报警 ·振动加速度测量 ·管道压力波动 ·其它机电转换、动态力检测等 动态微压传感器 灵敏度高，抗过载及冲击能力强，抗干扰性好，体积小、重量轻、成本低。 优点 * 压电传声器 压电晶体 膜片 UOUT 外壳 带孔护盖 压电传声器电路 压电微音器 * 第一节 压电传感器的工作原理 正压电效应 ： 某些电介质：施力→变形→内部极化两表面产生电荷 去力→恢复 两表面不带电 施加电场→变形 逆压电效应（电致伸缩效应）： 一、压电效应 piezoelectric effect * 平面上产生的电荷： 平面上的电荷密度： 压电效应产生的电荷大小 * 压电系数dij 石英晶体的 压电系数： q1, q2, q3分别是平面x,y,z上的 电荷密度。 * 天然石英晶体结构外形→正六面体 优点：机械强度高，温度稳定性好，居里点550℃以上。 x y z o o y z x (a) X切族 (b) Y切族 1.单晶体－ 石英晶体 二、压电材料和它的主要特性 * 受压力 受拉力 （1）纵向压电效应： 纵向压电效应产生电荷的大小与材料尺寸无关。 FX FX + + + + － － － － － － － － + + + + (a) (b) X X 单晶体的压电效应 受力方向与输出电荷方向一致 * 受压力 受拉力 + + + + + + + + － － － － － － － － (c) (d) FY FY X X 横向压电效应与尺寸 有关，比值越大，灵敏度越高。 （2）横向压电效应： 单晶体的压电效应 受力y方向，输出电荷x方向 * SiO2——Z平面投影——正六边形排列 ⊕─ — 石英晶体压电效应的原因 * 优点： d33大，成本低 缺点：居里温度低，性能不稳定 极化处理： 在一定温度下对压电陶瓷施加强电场。 例如：20~30kV/cm的直流电场，经过2~3h以后，压电陶瓷就具备了压电性能。 d31= d32各向同性 2. 多晶体——压电陶瓷 未极化 已极化 ← 极化方向 产生的电荷密度 * 介电常数 压电常数d33 (×10－12 C·N-1) 居里点?C 电阻率×109Ω·m 弹性模量×109N·m-2 石英 4.5 2.31 550 1000 78.3 LiNbO3铌酸锂 85 192.2 1160 － － BaTiO3 1900 191 120 10 92 PZT4锆钛酸铅 1300 285 325 10 66 PbNb2O6铌酸铅 225 85 570 7000 40 PZT的压电性能和温度稳定性好，是应用最普遍的压电陶瓷材料。 常用压电材料的特性参数 * 厚度变形TE 长度变形LE 体积变形VE 剪切变形TS 面切变形FS 第三节 压电元件常用结构形式 * 2.串联 压电元件可以串联或并联使用 1.并联 并联 串联 并联 串联 双晶片弯曲式压电元件 * 第四节 等效电路与测量电路 一、等效电路 电荷灵敏度： 电压灵敏度 ： ＋＋＋＋ ―――― q 电极 压电晶体 压电传感器的等效电路 Ca Ua Ua＝q/ Ca q q ＝UaCa Ca （a）电压等效电路 （b）电荷等效电路 * Ca Ra Cc Ri Ci q 完整的 等效电路 压电元件 固有电容 压电元件 泄漏电阻 连线电容 前置放大器输入电阻 前置放大器输入电容 * 二、测量电路 1.电压放大器 电压放大器电路 －A －A Ca Ca Ra Ri Ci Cc C R Ui USC USC Ua (a) (b) Ua * 其中压电元件受作用力 压电元件上输出电压 放大器输入端电压： 所以，输入端电压： 输入电压幅值： 测量电路时间常数： 测量电路的频率 * ? ? 0时，放大器输入电压Uim与?无关。 ? ? 0时，灵敏度将下降。 为了扩大工作频带的低频端，可减小? 0，提高测量电路 的时间常数： 结论：传感器高频响应好。灵敏度与电缆电容Cc有关，若改变电缆长度，须重新校正灵敏度值。 放大器输人电压 * Cf：反馈电容