压电陶瓷微位移工作台的建模方法-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １０ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１０ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １０ Ｏｃｔ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７１０１５９６０６ 　 压电陶瓷微位移工作台的建模方法 １ ２ 魏 强 ，张玉林 　 （ 泰山学院 物理与电子科学系，山东 泰安 ； 山东大学 电子束研究所，山东 济南 ） １． ２７１０２１２． ２５００６１ 摘要：压电陶瓷存在着迟滞非线性特性，而且在运行过程中，特性的变化规律也是未知的、不确定的，难以用传统方法获 取既有足够精确性又不至于过分复杂的压电陶瓷微位移工作台的数学模型。基于神经网络，本文提出了一种新的建模 方法。分析了微位移工作台的结构和建模方法，利用神经网络的自学习和自适应能力，在线调整模型结构和参数，减小 工作台的建模误差，为控制系统提供了更为准确的模型信息。采用工作台的位移数据对网络模型进行了训练，实验结果 表明，在 ８０ ｍ行程范围内，工作台的平均定位误差为 ８０ｎｍ，最大误差为 １００ｎｍ，基本满足纳米定位的精度要求。 μ 关 键 词：精密工作台；压电陶瓷；纳米定位；神经网络；系统辨识 　 　 中图分类号： ； ； 文献标识码： ＴＮ３０５．７ＴＰ１８３ＴＮ３８４ Ａ 　　 犕狅犱犲犾犻狀 犿犲狋犺狅犱狅犳犿犻犮狉狅犱犻狊犾犪犮犲犿犲狀狋狊狋犪犲 犵 狆 犵 犱狉犻狏犲狀犫 犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮犮犲狉犪犿犻犮 狔狆 １ ２ ， ＷＥＩＱｉａｎ ＺＨＡＮＧＹｕｌｉｎ ｇ （ ， ， ’ ， ； １．犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘犺狊犻犮狊犪狀犱犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犛犮犻犲狀犮犲 犜犪犻狊犺犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犜犪犻犪狀２７１０２１ 犆犺犻狀犪 狆 犳 狔 狔 ， ， ， ）