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扫描探针纳米加工技术的现状与发展趋势 - 大学化学 - 北京大学
18 1 2003 2
宫建茹 万立骏 白春礼
( 100080)
,
,
50, Moore
1cm 0. 1m, 4000 ,2015
50 0. 1m ,
100nm ,
, ,
20 80 , (scanning probe microscope,SPM)
SPM ,
( 1nm) ,,
,, SPM , SPM
,
[ 1]
1987 , AT T Bell Becker ( scanning tun
nelling microscope,ST M),
,SPM ,
[2]
, 1993 Day Allee ,
, SPM
,,
:
: ,
: , ,
7
1
SPM ,
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,SPM
, ,, SPM
,
,SPM ,
1
( PMMA) LB ( SAM) ( 1) Magno Bennett
( atomic force microscope,AFM) , 20nm ,
2nm ;Bouchiat AFM ,
;Xu SAM , AFM ,10nm
Hosoki ,MoS2 , PEACE91
HCRL, 1.5nmSi
1990 IBM Eigler
(4K),STM Ni( 110) Xe, Xe
[ 3]
IBM, 5nm STM
,,36
( 2) ,
(quantum mirage),
2
, ,
, ,
,
2
,
, dI /dS dI /dV
SPM , ( PMMA)LB
8
SAM Diego[4] AFM
,
, , SPM
SPM CVD
SPM ,
,(Si, Cr, Nb, GaAs,Au
Ti) ,
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( 111) , 3
[ 5]
(3) Weeks Vollmer ,
Shachar Richter
, Matsumoto
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tical microscope,SNOM) , / Kransch
Smolyaninov SNOM
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