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X身寸线衍射应用专题 薄膜和多层膜的X射线散射方法与应用* 张爱梅 吴小山’ (南京大学固体微结构物理国家重点实验室 南京大学物理系 210093) 摘 要 文章主要介绍了几种X射线散射技术，包括X射线小角反射技术、X射线漫散射技术、掠人射X射线衍射 和多晶薄膜的小角衍射技术。通过具体的事例说明这些X射线散射方法在薄膜研究中的应用。 关键词 薄膜，X射线散射，微结构 X一rayscatteringmethodsforfilmsandmultilayers andtheiraPPlications ZHANGAi一Mei WUXiao一Shant (Laborato叮ofsol记从ateMicrost二tures，烧pa材mentofP六，乞必，NanjingUn滋rsity，NanjingZloo93，China) Abstract severalX一rar diffractio可scatteringtechniques，includinggr舰ingincidentX一rav reflectivity，trans- verseX一raydiffusescattering，grazingincidentX一r盯dil肠actionandX一rav small一anglediffraction，forthecharac- terizationoffilmsandmultil盯ersaredescribed.Threeexa呷lesare giventoshowtheaPPlicationofthesemeth- ods Keywords film，X一rayscatterin只，microstructure X射线是一种高频电磁波，含有电场分量和磁 1 引言 场分量。当X射线照射到材料上，材料中的组成基 本单元如核子、电子、库仑场、磁矩等对X射线产生 薄膜和多层膜因为其特殊的物理效应而成为现 散射，由于散射截面的巨大差异，通常我们只考虑材 代器件的材料基础。薄膜和异质结构能够表现出多 料中电子对X射线的散射。当X射线被散射时，散 种独特的物理性质，涉及光、电、磁、热等众多体系。 射波与人射波中满足相干条件的波互相干涉，在特 如磁/非磁多层膜系统具有巨磁电阻效应(GMR)， 定的方向上互相加强，散射强度的空间分布决定于 半导体的超晶格表现出特殊的能带结构，而介电常 晶体中各组成原子的种类及其分布。对散射强度空 数调制的超晶格能够表现出特殊的光学性质。对人 间分布的分析可以构造材料中电子分布的信息— 工薄膜材料，薄膜的厚度、质量、生长方法、工艺及生 周期性、短程周期性或无序等，从而可以得到材料的 长参数等是影响其物理性质的关键因素。例如，在 微结构信息。X射线衍射/散射方法是目前研究材 GMR材料中，非磁层的厚度和界面的微结构决定了 料结构最为广泛、行之有效、无损的测量方法。 GMR的大小，又如co/c了c。自旋阀，不同的生长 条件导致完全不同的结果一〔‘，」。因此，对薄膜微结 国家自然科学基金(批准号10523001)和教育部新世 构的研究，一方面可以对薄膜生长提供依据，另一方 纪人才基金(批准号:NCET一04一0463)资助项目 面对薄膜性能的物理机制提供基础。薄膜微结构包 2007一02一17收到初稿，2007一04一26收到修改稿 括的内容很丰富，主要任务由图1给出。 通讯联系人.Email:xswu@nju·edu·cn 516 · http://w-ww . 物理