微波谐振腔气体放电的功率吸收与电子密度-福州大学学报（自然科学版.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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微波谐振腔气体放电的功率吸收与电子密度-福州大学学报（自然科学版.PDF

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微波谐振腔气体放电的功率吸收与电子密度-福州大学学报（自然科学版

29 3 () Vol.29 No.3 2001 6 Journal of Fuzhou University(Natural Science) Jun.2001 :1000-2243(2001)03-0011-03 1 2 , (1., 　350002;2., 　200062) :H ◆ ., 103 . :;; :O531 :A 、.: , ;;, 10 3 10 /cm ., , -3 5 , ., 10 ～10 Pa ., 、, .:①;② , ;③H ★. 11 H ◆ , 103 . 1 　H ◆ 103 1 .BJ-22 (5.46 cm× 10.92 cm).2 450 MHz、0 ～800 W . , BH- 22 , . . , .27.5 mm . , 180 mm、30 mm , , . 1　 2 　 . , , :2001-01-11 : (1963-), , . ·12 · () 29 .2 , 658 439 W , . U , 0.133 3 ～3.332 5 kPa.2 , .(3.332 5 kPa),., , , .2.666 ～3.332 5 kPa , 80%. 　2　 3 　、 , ., ., 、[1, 2] . , π/2., , .[1, 2] . E eff =E a +Ep (1) :E a Ep ., [3] , . E a = ρZ w P in a (2) 2 Z w =120π/ 1-(λ/2a ) (3) :ρ, ;Z w TE10 ;P in , ;a =109.2 mm, BJ-22 ;λ=122.4mm, ., [ 1-3] : 2 2 2 2 2 2 E =E ω/ω,　ω =ne /m ε,　ω