气体感测器检测方法.pdfVIP

氣體感測器檢測方法 指導教授: 施仁斌教授 學生:電子 四乙張學文 D0281479 電子 四乙張維辰 D0241492 電子 四乙徐文祈 D0209067 2016/12/5 1 前言 為了感測反應物而使用氣體質量流量控制器，此報告為MFC原理介紹 及如何分類出所要測量二氧化碳 ppm濃度刻度表，以及如何測量電阻變 化，以完成測量反應物。 2 MFC原理 感測流量部分主要是採用熱感式流量計，即使用溫差 (熱通量差或溫度差)來反映流體 流量大小。 如圖，當感應管內沒有流體流動，管內流體溫度分布如實線所示是對稱的，當管內有 流體流動，管內流體溫度不再是對稱，而如虛線所示。此溫度分佈差異會隨管內流量 變化而改變，流量愈大其溫度差異也愈大。所以利用加熱線圈的電阻值會隨溫度改變 的特性可得到兩加熱線圈的感測熱差值（溫度差或熱通量差）。 3 實驗裝置圖 4 參考資料 “Understanding the Compatibility of Thermal Mass Flow Meter with Various Process Gases” SashiKumar GN*, MahendraAK and GouthamanG Machine Dynamics Division, Chemical Technology Group, BhabhaAtomic Research Centre, Mumbai, India. 10.4172/2157-7048.S1-002 END 5