新型大尺寸电磁驱动犕犈犕牦光学扫描镜的研制.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ３ 犞狅犾．２９ 犖狅．３ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ３ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犕犪狉．２００８ 新型大尺寸电磁驱动犕犈犕犛光学扫描镜的研制 ，， １２ ３ １ 穆参军 张飞岭 吴亚明 　 　 （ 中国科学院上海微系统与信息技术研究所，上海 ） １ ２０００５０ 　 （ 中国科学院研究生院，北京 ） ２ １０００３９ 　 （ 飞索半导体（中国）有限公司，苏州 ） ３ ２１５０２１ 　 摘要：设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为 的电磁驱动 光学扫描镜 这种背面为微型铜驱动线 ６犿犿×４犿犿 犕犈犕犛 ． 圈的 硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中，当电流信号通过驱动线圈时， 光学扫描镜 犕犈犕犛 犕犈犕犛 绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动 采用 体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能，实验获得 ． 犕犈犕犛 的扫描镜静态转角斜率为 ／ ，当器件进行动态扫描时，在 的谐振频率下获得了最大 的光学扭转角 ００３°犿犃 ３８１犎狕 ±１０２° 度，空气中的 因子为２２１，相应的功耗为 １３犠，与此同时犕犈犕犛光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜 犙 μ 面平整度 实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用 ． ． 关键词：犕犈犕犛；大尺寸光学扫描镜；电磁驱动；大角度转动；光学反射率 ： ； 犈犈犃犆犆 ２５７５犉 ４２５０ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖３０３ 犃 ０２５３４１７７２００８０３０５８３０５