光电传感器复习.pdf

C3 光电检测技术 3 光电检测技术 LOGO 1 光电直接检测技术 2 光电外差检测技术 3 激光干涉测量技术 4 激光衍射测量技术 2 3 光电检测技术 LOGO 4 激光衍射测量技术 3 3.4 激光衍射测量技术 LOGO 光波在传播过程中遇到障碍物时，会偏离原来 的传播方向，绕过障碍物的边缘而进入几何阴 影区，并在障碍物后的观察屏上呈现光强的不 均匀分布，这种现象称为光的衍射。 惠更斯的解释（1690） 波前上的每一点都是一个次级扰动源，发 出球面子波，这些子波的包络面就是新的 S 波前 问题：不能确定光波通过障碍物后沿不同 方向传播的振幅 菲涅尔的补充（1818） 所有子波来自同一波前，所以，后一时刻 的波前应是所有子波相互干涉的结果—惠 更斯-菲涅尔原理 4 1.1.1 静态模型 LOGO 静态模型是指在静态条件下（即输入量不随时间变化）传 感器输出量与输入量之间的一种函数关系。 2 n y a a x a x a x 0 1 2 n  a0 ——零位输出  a1 ——传感器的线性灵敏度，常用K或S表示  a2， a3，… an ——非线性项的待定常数 5 1.1.1 静态模型的应用意义 LOGO 稳定状态下输入量不随时间变化，或变化极小 （可以忽略不计），或暂不要考虑时间的影响。 举例： 一般环境温度测试，空气湿度测试，电源 电压测量，照明灯照度测定，电子天平，悬浮子 流量计，霍耳片测地磁场，微小压强计等。 6 1.1.1 典型静态传感器响应特性 之一 LOGO 理想线性 y ax  弹性范围内应变与外力成正比 光电流与光强成正比 平行平板电容量与面积成正比 电阻电压与电流成正比 微应变与温度成正比 7 1.1.1 典型静态传感器响应特性 之二 LOGO 仅有偶次非线性项的非线性系统 2 2n y a x  a a x a x