特殊化学品系统介绍资料.ppt

2002.9.26 TFT-QA Thomas QA 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量， 鼓舞我们前进。 * 2002.9.26 TFT-QA Thomas 龍潭廠 特殊化學品系統介紹 單 位：廠務處液化部特化課 報告者：宋狄堂 2002.9.26 TFT-QA Thomas 藥供室區域 充填回收作業 特化設備 化學品性質 安全防護系統 漏液緊急處理 特化系統安全說明 2002.9.26 TFT-QA Thomas L2棟 L1A 藥供室 L1棟 廠務特化藥液供應室 L2 藥供室 藥供室區域 2002.9.26 TFT-QA Thomas 有機室 華南三路 L1 棟 L1藥品供應室 混酸室 無機室 藥供室區域 2002.9.26 TFT-QA Thomas 廢液回收 作業區 有機室 華南 二路 L2 棟 行政大樓 L2藥品供應室 酸室 鹼室 藥供室區域 2002.9.26 TFT-QA Thomas 藥供室分布 L1藥供系統 (L1棟西側) L2藥供系統 (L2棟WS) 樓層 藥供室 樓層 藥供室 - - L50 酸室、鹼室 2F 中繼站 L30 有機室、酸室、鹼室 1F 有機室、無機室 L20 有機室、酸室、鹼室 B1F 地下桶槽區 (L1東側) L10 中桶槽區 藥供室區域 2002.9.26 TFT-QA Thomas L2 棟 充填槽車 藥液充填作業 2002.9.26 TFT-QA Thomas L1 棟 回收槽車 藥液回收作業 充填回收作業 2002.9.26 TFT-QA Thomas 儲存藥品 有機室：有機類藥液 Stripper（光阻剝膜液）、Thinner （光阻稀釋液） 、NMP、 丙酮、異丙醇 酸 室：酸性藥液 鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、CrT蝕刻液、CAN、磷酸 、硝酸 鹼 室：鹼性藥液 顯影液 25%、顯影液2.38% 、顯影液0.4%、洗劑 充填回收作業 2002.9.26 TFT-QA Thomas 有機類藥液 化學品性質 2002.9.26 TFT-QA Thomas 閃火點 液體隨著溫度增加，其蒸氣壓增加，當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時，遇火燃燒，惟一閃即滅，稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體。 化學品性質 閃火點 化學品 ＜65 ℃ 甲苯、汽油 30 ~ 65 ℃ 煤油、輕油、松節油、異戊醇、醋酸、Thinner 0 ~ 30 ℃ 異丙醇、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯 -30 ~ 0 ℃ 正己烷、環氧乙烷、丙酮、苯、丁酮 ＜ -30 ℃ 乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、 二硫化碳 有機類藥液大部份均為可燃性，嚴禁火花及熱源。 2002.9.26 TFT-QA Thomas 酸性藥液 化學品性質 2002.9.26 TFT-QA Thomas 鹼性藥液 化學品性質 ※『顯影液』危害特性：類神經毒素，吸入、食入或皮 膚大面積接觸，15~30分鐘內產生急性中毒抑制呼 吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰 竭死亡。 人類口服可能致死劑量：25%TMAH 0.8cc~4cc 2.38%TMAH 8.4cc~42cc。 2002.9.26 TFT-QA Thomas 藥液儲存槽 藥液充填至特定化學品儲槽，以作為庫存 特化設備 2002.9.26 TFT-QA Thomas 藥液供應設備 藥液由設備供應至無塵室使用端 特化設備 2002.9.26 TFT-QA Thomas 廢液儲存槽 廢液循重力流方式流至廢液儲槽 特化設備 2002.9.26 TFT-QA Thomas 危害分類標示 儲槽、設備標示 管路標示 特化設備 2002.9.26 TFT-QA Thomas 系統設備安全項目 Chemical Leak Detector ( 漏液偵測器) CO2 Relief System (CO2鋼瓶消火系統) Sprinkler Head(灑水系統) Gas Detector( 氣體偵測器) Monitor System(中央監控系統) 特化系統安全說明 2002.9.26 T