真空技术及真空计量基本知识概要1.docx

第二章真空计量基本知识一、真空1.1 真空、理想气体状态方程、气体分子的热运动地球的周围有一层厚厚的空气，称为大气，人类就生活在这些大气中。空气有一定的质量，在通常状况下，大约为1.29g/l，可以说是很轻的。但地球周围的空气非常密，在几十公里以上的高空还有空气存在，这么厚的一层空气受地球引力作用，就会对地面上的一切物体产生压力，这就是大气压。早在17世纪，托里拆利就通过实验证实了大气压强的大小。通常一个标准大气压约等于0.1MPa，相当于760mm左右的汞柱所产生的压强。真空是指低于一个大气压的气体空间，但不可理解为什么都没有。真空是同正常的大气相比，是比较稀薄的气体状态。按照阿佛加德罗定律1mol任何气体在标准状况下，有6.022×1023个分子，占据22.4L的体积。由此我们得到标准状态下气体分子的密度为。在非标准状况下，当气体处于平衡时，满足描述理想气体的状态方程。式中的N为气体的摩尔数，P为压力（Pa）,T热力学温度，κ为波尔兹曼常数，κ=1.38×10-23J/K。因此在非标准状况下，气体分子数密度与压力和温度有关。每立方厘米中的气体分子数可以表示为：式中n为气体分子数密度（cm-3），由此可见，即便在这样很高的真空度时，T=293K时，每立方厘米的空间中仍有数百个气体分子。因此所谓真空是相对的，绝对的真空是不存在的。同时我们也可知，气体分子数密度在温度不变时，与压力成正比。因此，真空度可用压力来表示也是以此为理论依据。在真空抽气过程中，一般可认为是等温的，我们说容器中的压力降低了或气体分子数密度减少了都是正确的。1.2 气体分子的热运动从微观的角度看，气体是由分子组成的，所有分子都处在不断的、无规则的运动状态。分子的这种运动与温度有关，因此我们称之为热运动。做无规则运动的气体速度不都具有相同的值，而是形成一个各种速度的速度分布，具有最大速度和最小速度的分子数都比较少，而具有“中等”速度的分子数比较多，速度的分布是有规律的。容器中的气体，施于器壁或测量元件的压力，是大量气体分子不断对他们进行碰撞的结果。我们知道，所有气体分子都在以各种可能的速度和方向无规则的运动着，随时都有一部分分子碰撞到器壁或测量元件上，并把它们的动量传递给被碰撞的物体，对于一个分子来讲，它每次碰撞在什么地方，有多大的动量都是偶然的，不确定的。但对于容器中的大量分子而言，每时每刻都有许多分子碰撞到器壁和测量元件上，按照统计规律，这种碰撞是恒定的、持续的、确定的，从宏观上表现出来的，就是压力。因此从分子运动的观点看，气体压力是由于大量气体分子做无规则的热运动，对物体表面施加碰撞的统计平均结果。1.3 真空的特点在低于大气压力的稀薄气体中，气体所显示的第一个特点是气体分子数目的减少,即单位体积内所具有的分子数目的减小.低压气态空间所显示的第二个特点是随着分子数目的减少,分子间、分子与器壁之间相互的碰撞次数也逐渐的减少下来。随大气压力降低，每秒种内碰撞到每平方厘米表面积上去的分子数是在不断减少的。低气压状态中，气体的第三个特点是气体分子热运动自由程的增大。所谓自由程，是指一个气体分子在其热运动过程中，彼此之间不断发生碰撞，一个分子与其它分子每连续两次碰撞之间所走的路程。由于分子运动速度不同，运动情况不同，单独讨论某一个分子的自由程是无意义的，因此通常采用平均自由程的概念，它定义为相当多的不同自由程的平均值。平均自由程也只有统计的概念。理论和实验表明，气体分子的平均自由程可以用下式表示其中为σ分子直径，p为压强，T为气体温度，k为玻耳兹曼常数。二、真空的度量根据上面的讨论，我们可以看出，在真空中气体分子数目、气体分子间相互碰撞次数及气体分子碰撞到空间任何物体表面上去的次数都有着明显的减少。随着气态空间分子数的减少，即出现了真空度不断提高的过程。所谓真空度，就是空间中气态物质的稀薄程度。气体的压力越低，其稀薄程度越大，也就是真空度越高。因此，低压力与高真空或高压力与低真空，在含义上是完全相同的。在真空技术中由于真空度和压强有关，所以真空度的度量单位是用压强来表示。压强所采用的法定计量单位是帕斯卡（Pascal），简称帕，是目前国际上推荐使用的国际单位制。我国采用国际单位制。1958年，第一届国际技术会议曾建议采用“托”(Torr)作为测量真空度的单位。托（Torr）是最初获得真空时被采用的真空技术中的独特单位，实际上也是1mmHg柱所产生的压强。两者的关系为1Torr=133.322Pa=1mmHg。还有一种压强的计量单位是巴(bar),1 bar =105 Pa ，它的常用单位是毫巴(mbar)，1mbar=10-3bar=100Pa，这也是我们镀膜线控制界面所用的压强单位。三、真空的划分有了度量真空度的单位，就可以定量表示真空度的高低了。但在习惯上，人