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基板效微波被元件之模型化的影蔡友正修科技大子系副教授一前言使用助行路模甚至系的各功能特性的模已成研通信新品不可或缺的程序在助中路系的各元件是由各式模型所成因此模型的度及可用影模果之劣成可的模型研的重要性先前研究曾提出一兼具性且能泛用於不同的元件本作件的模型充式型等效路如一所示模型的等效路架用附加多振器之型等效路模元件本身的特性及操作期遭遇到的各干象以通波器及程之螺旋感器等例然而的作在低阻的矽基板的互感值受率改的影呈明的表示互金流已受集效的影於微波被元件作在不同的程或基板特性操作生的各干效充式型等
基板效應對微波被動元件之寬頻模型化的影響
A Broadband Model for Microwave passive Components
Incorporating Substrate Effects
蔡友遜
正修科技大學電子系副教授
一、前言
使用電腦輔助設計軟體執行電路、模組、甚至系統的各項功能特性的模擬設
計,已成為研發通信新產品不可或缺的程 序。在電腦輔助設計軟體中,電路系統
的各種元件是由各式模型所組成,因此模 型的準確度及可應用頻寬,將影響模擬
結果之優劣成敗,可見準確寬頻的模型對研發設計的重要性。先前研究曾提出一
兼具準確性、寬頻、且能廣泛應用於不同的元件本質與製作條件的模型-擴充式
PI型等效電路如圖一所示。模型的等效電路架構採用附加多層諧振器之單級 PI型
等效電路,模擬元件本身的特性及操作時預期將遭遇到的各種干擾現象,並以
LTCC帶通濾波器及 CMOS 製程之螺旋電感器等實驗例驗證。然而 Ymeri et. al.的
實驗發現 [1] ,製作在低電阻係數的矽基板的互連線,電感值受頻率改變的影響會
呈現明顯的變動,表示互連線金屬傳導電流時,已受集膚效應 (skin effect)的影響。
對於微波被動元件製作在不同的製程或基板特性,操作時產生的各種干擾效應,
擴充式 PI型等效電路的模型化能力是本研究主題。
對螺旋電感器而言,影響電感器特性的干擾效應有集膚效應、近接效應
(proximity effect) 、侵入基板的電場所形成的電容性耦合效應、侵入基板的磁場所
形成的電感性耦合效應、非零電阻係數之金屬線引起的能量損耗之電容性分佈效
應 [2]-[4] 。針對特定的高頻電磁效應及損耗,而有許多模型化方法被提出,常用的
作法是在 型等效電路的三個支臂,使用各式的電阻、電感、電容 (RLC)組合電路
[5]-[7] ,或使用2 級等效電路[8] ,或多級等效電路[9] ,以模擬高頻電磁效應的行
為特性,進而改善模型的準確性。這些模型針對特定結構、材料或製程種類的元
件而有良好的模型化準確性,但是對其他 製程種類製作的元件未必適用。另有採
用電磁分析的數值方法 [10]-[11] ,其優點是準確度高,但程序執行時間甚久,且耗
用龐大的計算機系統資源,輸出模型具有頻率相依性,難以整合入 SPICE模擬器。
故發展一種通用型之等效電路模型有其必要性。
本研究主要探討不同的基板特性,是否影響之前提出的擴充式 PI型等效電路
之模型化準確性。在本研究中,以另外 3 種基板製作的螺旋電感器為例,檢驗擴
充式 PI 型等效電路之模型化能力, 3種基板分別為有機薄片基板、 PHEMT 以及
BiCMOS 製程,其中 BiCMOS 製程有低電阻係數基板實驗例,以及高電感量實驗
例,以驗證擴充式 PI型等效電路模型化方法的準確性及廣泛應用性。
Y
p
Z
g
Z
c Y
p
Y Y
o1 o2
Z
g
圖一 擴充式 PI型等效電路及使用的多層諧振器
二、擴充式 PI型等
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