面向工程化应用的量子阱红外探测材料制备研究 - 激光与红外.pdfVIP

第４０卷　 第１１期　 　 　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４０，Ｎｏ．１１ 　 ２０１０年１１月　 　 　　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ，２０１０ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１０）１１１２１５０５ ·红外材料与器件 · 面向工程化应用的量子阱红外探测材料制备研究 杜　鹏，周立庆 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：为了得到高性能的量子阱红外探测材料，本文通过建立系统的材料设计、材料生长及 材料表征体系，对面向工程化应用要求的单色以及双色红外探测的量子阱材料制备技术进行 了较深入探索，并得到了相应部分器件的测试结果，实践证明，通过工艺与控制过程优化，量子 阱红外探测材料的制备可实现高的可控性和稳定性。 关键词：量子阱红外探测器；分子束外延；材料；表征 中图分类号：ＴＮ３６２　　　文献标识码：Ａ ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆＱＷＩＰｍａｔｅｒｉａｌｆｏｒｍａｓｓｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ＤＵＰｅｎｇ，ＺＨＯＵＬｉｑｉｎｇ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｔｈｅｐａｓｔｆｅｗｙｅａｒｓｒｅｓｅａｒｃｈｅｒｓｈａｖｅｍａｄｅｉｍｐｒｅｓｓｉｖｅｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎ  ｂａｓｅｄｌｏｗｄｉｍｅｎｓｉｏｎｉｎｆｒａｒｅｄｄｅ Ⅲ Ⅴ ｔｅｃｔｏｒｓｕｃｈａｓＱＷＩＰ，ＱＤＩＰａｎｄＳｂｂａｓｅｄｓｕｐｅｒｌａｔｔｉｃｅ．ＱＷＩＰｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｈａｓｂｅｅｎｐｒｏｖｅｄａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｃａｎｄｉｄａｔｅｆｏｒ ｔｈｅｔｈｉｒｄｇｅｎｅｒａｔｉｏｎＩＲｓｙｓｔｅｍｓｆｏｒｉｔｓｈｉｇｈｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ，ｙｉｅｌｄ，ｌａｒｇｅｆｏｍａｔａｎｄｍｕｔｉｂａｎｄｃａｐａｂｉｌｉｔｙｉｎＥｕｒｏｐｅａｎｄＡ ｍｅｒｉｃａｎ，ｂｕｔｉｓｓｔｉｌｌｉｎｔｈｅＬａｂｉｎＣｈｉｎａ．Ｓｏｔｈｅｓｅｋｉｎｄｓｏｆｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎａｒｅｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｓｓｕｅｓｔｏｂｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄ．Ｔｈｅｄｅｓｉｇｎ ａｎｄｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｏｆｈｉｇｈｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅＱＷＩＰｍａｔｅｒｉａｌｉｓｔｈｅｆｉｒｓｔｔｈｉｎｇｔｏｂｅｓｏｌｖｅｄ．Ｈｏｗｔｏｋｅｅｐａｈｉｇｈｑｕａｌｉｔｙ，ｈｉｇｈ ｙｉｅｌｄ，ａｎｄｈｉｇｈｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｍａｔｅｒｉａｌｇｒｏｗｔｈｉｓｔｈｅｂａｓｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｗｈｏｌｅｐｒｏｊｅｃｔ．Ｓｉｎｃｅ２００７ｗｅｓｔａｒｔｏｕｒｒｅｓｅａｒｃｈｉｎ ＱＷＩＰｍａｔｅｒｉａｌ．Ａｎｄｍｕｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｈａｓｂｅｅｎａｃｈｉｅｖｅｄｗｉｔｈｔｈｅｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｄｅｓｉｇｎ，ｇｒｏｗｔｈａｎｄｃｈａｒａｃ ｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ．ＩｎｔｈｉｓｐａｐｅｒｗｅｐｒｅｓｅｎｔｓｏｍｅｒｅｃｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｏｆｏｕｒｒｅｓｅａｒｃｈｉｎｓｉｎｇｌｅｃｏｌｏｒａｎｄｔｗｏｃｏｌｏｒＱＷＩＰｍａｔｅｒｉａｌ．Ａｓ ａｒｅｓｕｌｔ，ｈｉｇｈｌｙｃｏｎｔｒｏｌｌａｂｌｅａｎｄｓｔａｂｌｅｍａｔｅｒｉａｌｃａｎｂｅｇｕａｒａｎｔｅｅｄｂｙｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆｐｒｏｃｅｓｓｃｏｎｔｒｏｌ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＱＷＩＰ；ＭＢＥ；ｍａｔｅｒｉａｌ；ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ 造商如：法国 ［５］ ［６］ １　引　言