tft-lcd 厂沸石浓缩转轮与蓄热式燃烧炉之瓦斯节能操作探讨.pdf

工業污染防治 第 126 期(Dec. 2013) 91 熱能回收 TFT-LCD 廠沸石濃縮轉輪與蓄熱式燃燒 爐之瓦斯節能操作探討 邱垂嶺* 、白曛綾** 摘要 光電產業中的 TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display ；TFT LCD) 產業製造過程所產生的揮發性有機物 VOCs(Volatile Organic Compounds ，VOCs)特 點為高風量、低濃度，國內科技工業多以天然氣為燃料之沸石濃縮轉輪焚化系統來 處理此類製程廢氣，而天然氣價格有日益上升的趨勢，增加了處理設備的運轉成本。 針對沸石轉輪與蓄熱式燃燒爐於符合法規及最佳可行控制技術條件前提下，進 行各項節能措施調整。其中，熱能回收項目係利用製程機台之高溫排氣作為轉輪冷 卻入口空氣使用，經導入測試後可節省瓦斯並提升轉輪脫附區出口溫度，實現節 能、熱能再利用之效益，而熱能氣流含低濃度 VOCs ，將其導入轉輪中可減少其逸 散於大氣環境中。針對實廠測試數據顯示：1 台沸石濃縮轉輪與蓄熱式燃燒爐系統， 調整後可節省之瓦斯度數為 181,332 m3/年，節省金額為 3,401,788 元/年，測試項目 中以熱旁通風門調整效果最佳，其瓦斯節省比率佔總效益之 51.2% ；其餘調整參數 項目：脫附風量、轉輪轉速、熱能回收、再生風溫及爐溫等，其瓦斯節省比率依序 為 20.5% 、9.7% 、6.8% 、6.3%及 5.8% 。 【關鍵字】瓦斯節能、蓄熱式焚化爐、熱能回收、沸石濃縮轉輪、光電產業 *國立交通大學 工學院產業安全與防災學程 碩士 **國立交通大學 環境工程研究所 教授 92 TFT-LCD廠沸石濃縮轉輪與蓄熱式燃燒爐之瓦斯節能操作探討 一、前言 國內 TFT-LCD 產業因製程之揮發性有機廢氣為具有高風量、低濃度之特性， 針對 VOCs 廢氣處理方式多數採用以天然氣為燃料之沸石濃縮轉輪焚化系統。 台灣天然氣的取得多以國外進口為主，依經濟部能源局分析[1] ，民國100 年 1 月至 9 月自產天然氣為 227,195 千立方公尺，占總供應量之 1.84％，進口液化天然 氣為 12,095,458 千立方公尺，占總供應量之 98.16％ ;而國內民國 100 年度 1 月到 10 月的天然氣(原料)價格變動，由每立方公尺 14.64 元調整至每立方公尺 17.25 元， 其漲幅約為 17.83% ，價格之調升也增加沸石濃縮轉輪焚化系統的運轉成本，故節 省天然氣之使用為此時刻不容緩之議題。 在沸石轉輪搭配焚化系統，國內有相當多之研究及案例針對運轉效率最佳化及 瓦斯節能方面有諸多成效，綜合此類研究多以不增加建置成本的方式調整，其項目 包含脫附風量、脫附 (再生)風溫、轉輪轉速、爐溫等，而在調整時多數研究並把去 除效率影響列為調整時之考量因素。 本研究希望以最低之天然氣能源消耗處理 VOCs 之製程廢氣，並在符合環保法 規及最佳可行控制技術原則下，調整沸石濃縮轉輪與蓄熱式燃燒爐 (Regenerative Thermal Oxidizer ；RTO)之操作參數，降低天然氣用量，本研究同時也利用 TFT-LCD 產業高溫排氣進行熱能回收至 VOCs 處理設備，以達到降低天然氣用量及熱能回收 再利用之目的。 二、沸石濃縮轉輪焚化系統 2.1 沸石吸附濃縮轉輪焚化系統 TFT-LCD 產業製程之揮發性有機廢氣其特性為高風量、低濃度，一般最常使 用之 VOCs 處理設備為沸石濃縮轉輪搭配焚化系統，沸石濃縮轉輪能將大風量、低 濃度揮發性有機廢氣吸附於濃縮轉輪上，再排放至煙囪 ;而吸附於轉輪上之 VOCs 隨轉輪 2~6 rph 緩慢旋轉至轉輪脫附區，由高溫風溫將轉輪內之 VOCs 脫附出來， 此股高濃度廢氣再到爐膛燃燒，此為沸石濃縮轉輪搭