硅三明治型微机械加速度计温度漂移与敏感结构 - 上海交通大学学报.pdfVIP

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2017-09-02 发布于天津
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硅三明治型微机械加速度计温度漂移与敏感结构 - 上海交通大学学报

中国机械工程第卷第期年月上半月 24 19 2013 10 硅三明治型微机械加速度计温度漂移与敏感结构热膨胀关系研究 , 12 2 2 2 1 戴强苏伟张德彭勃杨林暋暋暋暋暋暋暋暋暋 , , 1.西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室绵阳 621010 , , 2.中国工程物理研究院电子工程研究所绵阳 621900 : , , 摘要针对硅基三明治型微加速度计的温度漂移现象基于力学和热学原理分析了微加速度计敏、。感部分关键结构弹性梁敏感质量块在温度升高时的热膨胀与力学平衡关系变化结合微加速度计的 , , 、闭环反馈工作方式导出了其输出改变指出由于弹性梁敏感质量块在温度升高时热膨胀引起的输出 / , , ( ) / 。变化小于0灡002 10曟同时实验表明微加速度计输出随温度的变化为 0灡1~0灡2 10曟两者对 n n g g , 比的结果显示由于温度变化而引起的敏感结构热膨胀导致的输出改变不是微加速度计产生温度漂移 , 。的主导原因研究结果为三明治型微加速度计稳定性与漂移的进一步研究提供了参考 : ; ; ; 关键词三明治微加速度计温度漂移敏感结构热膨胀中图分类号: : / TN3暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2013.19.010 j ResearchonRelationshibetweenTem eratureDriftandThermalExansion p p p ofSensin StructureinSandwichMicro-accelerometer g , 12 2 2 2 1 DaiQian 暋SuWei暋Zhan De暋Pen Bo暋Yan Lin g g g g