电子显微镜讲义-2010(第12节)1.pptVIP

自我介绍 何本桥，湖北孝感人， 中科院化学所博士， 韩国培材大学高级访问学者， 测试中心电镜负责人 从事膜结构和性能研究 大倾斜角图像 二次电子能量低，从试样表面逸出的深度为5nm－10nm。如果产生二次电子的深度为x，逸出表面的最短距离则为：xcosθ（图c），显然，大θ角的xcosθ小，会有更多的二次电子逸出表面。不规则试样表面不同点θ角不同，SE产额也不同（ I＝K/cosθ）。 观察比较平坦的试样表面时，如果倾斜一定的角度，会得到更好的二次电子图像衬度。 在加速电压为V的电场作用下，一个静止的电子所获得的动能等于电子的总能量mc2与静止能量m0c2之差,即 eV = mc2 - m0c2 将上两式合并，在结合德布罗意公式可得 综上所述： 1. 提高加速电压，缩短电子波长，提高电镜分辨率； 2. 加速电压越高，对试样的穿透能力越大，可放宽对样品 的减薄要求。 3. 如用更厚样品，更接近样品实际情况。 4. 电子波长与可见光相比，相差105量级。 2.2 磁透镜的工作原理 可见光用玻璃透镜聚焦。 电子束在旋转对称的静电场或磁场中可起到聚焦的作用。电子束的聚焦装置是电子透镜。相应的分为：静电透镜和磁透镜。 静电透镜中强的静电场往往导致镜体中发生电击穿和弧光放电，因而目前电镜中很少使用。 １．电磁透镜的聚焦原理 透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成