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半导体气体传感器导体气体传感器半导体气体传感器通用说明书
moc.361@02sszs:LIAM-E5570:XAF 9/8m46o73c38.-c55i70- r:LoETsnes.www//:ptth 化动自RATSNUS
1
度。
相对灵敏度,取决于敏感材料的构成及其工作温
传感器对多种还原气体具有敏感性,对指定气体的
浓度呈对数线性关系。如图5所示。
至几千ppm),在工作条件下,传感器的电阻同气体
根据前述方程,在某一气体浓度范围内(从几十ppm
2气敏特性
清洁空气中阻值之间的典型关系。
O2)和MQ气体传感器在图4所示为大气中氧分压(P
1氧气分压的影响
传感器特性
α:Rs曲线的斜率
[C]:气体浓度
A:常数
s:传感器电阻其中:R
可近似由下面方程表示:
内,传感器的电阻值和还原性气体浓度之间的关系
定的工作条件下和适当的气体浓度范围在给
的阻值减小。
。导致传感器)度降低,势垒随之降低(图2和图3
-晶粒间势垒模型(洁净空气)图1
与还原性气体发生氧化还原反应而导致其表面浓
作条件下当传感器遇到还原性气体时,氧负离子因
的自由流动,传感器的电阻即缘于这种势垒。在工
吸附产生的势垒同样存在于晶界而阻碍电子由氧
流
。 物半导体微晶粒的结合部位(晶界)才能形成电
材料内部,自由电子
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