第十一章 薄膜生长的成核长大热力学与动力学.ppt

* 增原子在表面边角上的扩散还需要考虑原子在密排六角衬底上绕过岛角的扩散各向异性。温度升高，扩散速率趋向各向同性。 * 700K以上为热力学决定的稳定形貌，700K以下的生长形貌由动力学决定。 * 455K时，两种台阶的沿边迁移速率相同， * * 计算模拟实际是对凝聚和扩散的限制。在需要考虑到需要考虑的问题后可以得到与实际观察相似的结果 。理解薄膜生长 * 计算模拟的重要性还在于将物理分析和实验工作联系到一起 * 实验好观察量是岛密度，实验好改变量是温度。变化温度观察岛密度变化。升高温度降低岛密度升高。 薄膜成核长大是一个非平衡过程，如果温度足够高、原子的沉积速率足够低，就可以把薄膜成核长大看成平衡过程. 在这种情形下，气相中的原子和衬底上的原子通过沉积和再蒸发可以接近平衡，衬底上的大大小小的晶核可以通过聚合和分解而接近平衡，等等. 但是，这种接近平衡的过程非常缓慢(完全平衡时薄膜不能生长)，不符合实际的生长情形. 实际的衬底温度总是足够低、原子的沉积速率总是足够高，使薄膜以一定的速率生长. * 成核是一个随机过程，所以成核的数目也是随机过程，但是可以通过成核动力学来分析成核的平均数目 * * 初始阶段，增原子直接俘获气相来的原子以成核的几率很小 * The following simplifying assumptions are 1. The growing clusters preserve a constant geometrical shape (spherical in the particular case) which coincides with the equilibrium one. As mentioned in the previous chapter it ensures minimal free energy. 2. Clusters consisting of N atoms (N being sufficiently greater than the critical number n*) are removed from the system and replaced by an equident number of single atoms, thus ensuring a constant supersaturation in the system. 3. The nucleation process is considered as a series of consecutive bimolecular reactions * 忽略多原子团之间的复合及多原子团的蒸发 Triple and multiple collisions are ruled out as less probable. * 温度升高，驻留时间大大延长。 * * 可考虑i种盒子，第j种盒子能放的球数目为j，Cj为同类盒子的数目，指数项也可视为权重，不考虑链式核 或者说每个位置上有某原子的可能性为n1/No，则相连的i个位置上都有原子的可能性为(n1/No)i * 1、明显无关：有关，但不明显; 2、1和2的热导率相差很大； 3、某一地区，人与人之间通过交易达到财富平衡；如果某人得到外来的财富，那么当外来的财富加入 得比较慢时，大家可以通过交易达到一个新的平衡；相反如果这个地区得到财富的速度比较快，就无法 达到内部平衡。 只有在俘获面积内的增原子才有很大几率与晶核复合。 * This expression for the nucleation rate of small clusters has been central to subsequent theoretical treatments and in variant forms has also been used to test much experimental data. it has the advantage of expressing the nucleation rate in terms of measurable parameters Now, however, the uncertainties are in i* and Ei. * 稳定晶核区的晶核数目不再增加，只会有晶核长大 只有单原子区才会产生新的晶核 * 一般的脱附激活能要比扩散激活能高，即EaEd * * * 适用于临界核比较大的条件下 * 随成核功的不同(如缺陷和平台处)，成核率与温度的关系不一样 * * Coalescence of islands due to (a) Ostwald ripening, (b) sintering, (c) cluster migrati