采用ALD方法制备TiO2Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率.pdfVIP

下载本文档

29
0
约3.95万字
约 6页
2017-07-08 发布于北京
举报
版权申诉

采用ALD方法制备TiO2Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

采用ALD方法制备TiO2Al2O3布拉格反射镜并配合金属反射镜来增强背镀结构的反射效率.pdf

第36卷第4期电子器件 V01．36No．4 Chinese】o哪alofEIectmIlDevices 2013年8月 Aug．2013 Mirror Renector丽tha MetalⅡc RenectanceofBacbide Hybrid High 4 aIld DBR ALD-Ti02／A1203 cHEN Ho吣，ZHANG Ho他萄uR，GUo X访ng‘，CUlY谗诚g 210018，(冼讹) (A抽Ⅱ硎肭on泌ce，l‘er，鼬捌矿E胁ro，l如＆曲Mn以E吲M咖，s0眦危Ⅻt踟矗m酊，舵耐，Ig reflectors distributed atomic backside combiningTi02／A1203 Braggrenector(DBR)by Abstract：Highrenectivity mi玎orhavebeendemonstratedfor也efirst and metallic layerd叩osition(ALD)wim and haVee】【llibited aboVe stacksw汕excellent thickness high-enectiVities multi·pair-DBRs／Ag unifo咖ity accuracy DBRhas adhesionwithboth substrateandA1minDr，we the 96％．Besides，Ti02／A1203 good sapphire simplified fabricationandachievedmorestabilizedbackside ALD wit}l process renector．BycombiningdepositionTi02／A1203 stabilizedandexcellentfilm backsiderenectoris DBR，highrenectivity，lessangledependency，more unifo珊ity achievedtomeetthe of diodes(LEDs)． requirementshi曲bri曲tnessli曲t—emitting words：backside renector(DBR)；metallicmirmr；atomic Key renector；dist曲utedBragg