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采用压电陶瓷驱动器的高频像移补偿系统.pdf

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采用压电陶瓷驱动器的高频像移补偿系统.pdf

第40卷第3期 红外与激光工程 2011年3月 V01.40No.3 InfraredandLaser Mar.2011 Engineering 采用压电陶瓷驱动器的高频像移补偿系统 廖胜凯,刘银年,陈小文,王建宇 (中国科学院上海技术物理研究所,上海20【K)83) 摘 要:针对成像光谱仪提出了基于压电陶瓷(PzT)驱动器的高频像移补偿技术以提高其成像质量。 结合成像系统,分析了像移补偿系统需求,给出了该系统的控制策略和设计方案。针对PZT驱动器大 容性负载给出了驱动器的设计方法,能够实现系统所需的高频大信号电压驱动;采用基于AD698集 成芯片的信号调理电路和线性差分变压式传感器(LVDT)获得高精度补偿角度信息;针对PZT的迟滞 特性采用基于DSP控制器的数字闭环控制实现高精度控制。测试数据说明此系统已达到所需像移补 偿速度精度要求,表明了此方案的可行性和实用性。 关键词:像移补偿; 成像光谱仪; 压电陶瓷驱动器; 高频 中图分类号:T386.5文献标志码:A 文章编号:1007—2276(2011)03—0539一05 onPZTactuator motion based Highfrequencycompensationsystem Liao Y“lIliaIl,Chen Shengkai,Liu Xiaowen,WaIlgJiaIl” InstituteofTechllical of 200083,(=tIina) (Sh强ghai Physics,ClIine辩AcademySciences,Shanghai to Abstract:A motion whichwasbaSedonfZTacmatorandused hjghf}equencycompensationsystem me ofa was ofme was impmVequality spec仃。伊aphpresented.Requirementcompensationsystem tlle con昀l were t0 t|le 卸d scheme锄d perfom柚ce 卸alyzed design strategy pr叩osedsatis毋 tD山e PzTactuator础Verwas specifjcafions.Accordingla唱ecap捌t)r,alligllpower锄dhj曲fbquency whichcould me conditioIling designed providehighf诧quencysignalcoltage嘶Ve.Highaccuracysignal on di仟erentialn彻sfo锄er

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