自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素.pdfVIP

光 电子 激 光 第 卷 第 期 年 月 ! %9 7 -’’- 7 Yh[e]dohi,cfhaoajfeh]Zjl!-dlae .ho.%9 1h.7 Y[].-’’- 测量 检测 ! ! ! 自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素 谭久彬 张 杰 # 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 黑龙江 哈尔滨 $ # %’’’%( 摘要 从微小内尺度测量角度出发 研究了针孔尺寸 探测器位置 透镜的数值孔径 放大倍率和杂散光 ) # * * * 等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响 结果表明 为提高系统的轴向分辨率 需将有效针孔尺 + # # 寸控制在 探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位 选用差动共焦光路及大数值孔径 , -./ / 和大放大倍率的自聚焦透镜 同时 偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比 # # + 关键词 共焦三维形貌检测术 轴向分辨率 自聚焦透镜 非接触测量 ) / / / 中图分类号) -23 文献标识码) 文章编号)%’’5’’67$-’’-(’75’895’2 01 4 N :;;=?@;ABCD@E?FB=@C?@GHIDBJK?@JED@GDGBGLMD=BJ O PB?ECQ RG?ST?R UDVBW@G;@=BJS=BGGDGXPD=C@?=@MT 5 # 041 YZ[\Z] ^_41‘ YZa $ # # bacdefga]fhi4[fhgdfZjkadl[eaga]fd]m nh]fehop]qZ]aaeZ]q _de\Z] r]lfZf[fahi0ajs]hohqt %’’’%# ( _de\Z] nsZ]d ) # # Hu?CB=vhelgdooZ]fae]dogadl[eaga]feaw[Zeaga]faiiajflhilhgacdedgafaeZ]fsaltlfag l[jsdl # # fsamafajfhecZ]shoalZxafsamafajfhechlZfZh] fsa][gaeZjdodcaef[ead]mfsadgcoZiZjdfZh]hifsaoa]l # . [l