扫瞄束电子显微镜.PDF

掃瞄束電子顯微鏡 Scanning Probe Microscopy 一、 實驗目的： 自從具有原子解析度的掃描穿隧顯微術於1982 年發明以後，藉著不同的探針與樣品 之間的交互作用，各式的掃描探針顯微數在隨後數年間不斷地被發展出來，其中堪稱最重 要的便是在1986 年出現的原子力顯微術。由於此項技術不但具有原子分辨率，並解可以 應用於各種材料上，與掃描穿隧顯微術受限於導電材料不同，因此立刻被引入各種不同的 領域。本實驗將介紹原子力顯微術的基本原理、儀器構造及其在材料上的應用。 二、 實驗設備： SPM Solver P47是由一個避震系統，掃描器模組，組成各種類型量測頭，並且透過界 面卡連接至個人電腦的一個裝置。如圖 1. 所示。 圖 1. SPM Solver P47 量測系統。 1.AFM量測頭 圖 2.為AFM的量測頭。AFM量測頭是設計在大氣下量測，亦可控制適當的氣體和液體 進行量測， (液體中的操作是在量測頭上安裝的一個液體操作盒，如圖 3.所示) 。此系統 包含三個協調系統，掃描器、探針固定器和光學偏差的偵測器。量測頭也包括用於各種模 式的校正系統。 圖 3. 圖 4 . 2.STM量測頭 底下為兩個 STM 量測頭類型，在掃描隧道顯微鏡模式中之操作方法，以一個標準 (3pA-5nA) 和一個低電流 (3pA-5nA) 前置放大器。量測頭允許以下的量測模式: STM /低 電流、STM /STM和光譜學/STM 。 圖 5. 標準STM量測頭 (30pA-50nA) 圖 6. 低電流STM量測頭(3pA-5nA) 操作範圍: 10pA-10nA 操作範圍: 3pA-5nA 前置放大器雜訊: approx. 5 pA 前置放大器雜訊: 1.5 pA 頻寬: 12 kHz. 頻寬: 5.5 kHz. 3.Shear Force量測頭 剪力量測頭是被設計來量測影像的輪廓 (如圖 7 ) 並且透過光纖設計利用光傳導來傳 遞光學信號。這包括非光學的回饋控制系統，且由音叉和光傳導光纖組成連接到壓電元件， 而能夠為 SNOM 操作做修改。 圖 7. 4.掃描模組 這是一個方便樣品量測的量測頭設計，藉由步進馬達移動樣品和量測頭的相對位置與 步進馬達接近探針到達樣品的位置，掃描器組件是由壓電掃描器和步進馬達構成懸掛在避 震平台上，piezoscanner 含有樣品的一個固定器和插銷式的加熱平台，掃描器組件也含有 可以用手操作的裝置。 圖 8. 避震平台上的掃描器模組 5.避震系統 Vibroprotection 系統設計主要是用來降低基座到樣品外部振動比例的量測系統。包含 3 個支撐架和厚實的基座所構成，上端的高度可調整並且利用粗棉線作為掃描器組件懸浮 的吸收器，基底含有量測頭和掃描器組件相關的連接頭。如圖 9. 所示。 圖 9. 避震平台 6.介面卡 為把電子組件連接在提供 SPM 控制軟體的個人電腦上使用。 圖 10. 介面卡 三、 實驗原理： (一)基本原理 原子力顯微鏡（atomic force microscope,AFM ）是由Binnig 、Quarter 及Gerber 1986 所發明的，具有原子級解像能力，可應用於多種材料表面檢測，並能在真空中、氣體 與液體環境中操作，屬於掃描探針顯微術（scanning probe microscope, SPM ），此類顯微 術都是利用特製的微小探針，來偵測探針與樣品表面之間的某種交互作用，穿隧電流、原 子力、磁力、近場電磁波等等