基于sigmoid 函数的离轴照明光源全参数解析模型 - 物理学报.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援缘 渊圆园员员冤摇 园缘源圆员猿 基于杂蚤早皂燥蚤凿 函数的离轴照明光源全参数解析模型鄢 员冤 员冤圆冤覮 员冤 员冤 刘摇 巍 摇 刘世元 摇 吴小飞 摇 张传维 员冤渊华中科技大学武汉光电国家实验室袁武汉摇 源猿园园苑源冤 圆冤渊华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室袁武汉摇 源猿园园苑源冤 渊圆园员园年员圆月怨 日收到曰圆园员园年员圆月圆怨 日收到修改稿冤 摇 摇 本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型袁该模型采用杂蚤早皂燥蚤凿 函数作为 构造各种主流离轴光源解析模型的核函数援提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏 差袁全参数修正项可展开为傅里叶级数形式袁相应级次的傅里叶系数具有特殊的物理意义袁可分别代表偏心尧倾斜尧 椭偏等形式的光源畸变袁为光刻分辨率增强技术及其相关领域提供了仿真条件与理论依据袁具有重要的应用价值援 关键词院光学光刻袁光源模型袁杂蚤早皂燥蚤凿函数袁离轴照明 孕粤悦杂院源圆郾苑圆郾原早袁源圆郾猿园郾原凿袁源圆郾愿圆郾悦则袁愿缘郾源园郾匀责 的产生偏心尧倾斜尧椭偏等形式的光强畸变咱员圆要员源暂 袁并 员郾 引 言 且真实光源的光强分布非常复杂袁往往很大程度的 偏离简单的二元分布咱员员暂援 因此袁为了满足集成电路 照明光源是光刻机成像系统最基本的构成单 在线生产及光刻物理仿真中日益增长的精度需求袁 元袁随着集成电路制造工艺的关键尺寸发展到怨园灶皂 很有必要深入研究各种主流光源的光强分布特性袁 及以下节点时袁工业界提出了离轴照明渊燥枣枣鄄葬曾蚤泽 从而建立精确表征真实光源分布的物理模型袁甚至 蚤造造怎皂蚤灶葬贼蚤燥灶袁韵粤陨冤技术以抑制光学邻近效应并进一 物理解析模型援 步提高制造成品率咱员要猿暂援广泛应用的离轴照明光源 近年来袁国外多家科研机构相继对光刻机照明 可分为传统圆形光源渊糟燥灶增藻灶贼蚤燥灶葬造糟蚤则糟怎造葬则泽燥怎则糟藻冤尧 光源的建模方法开展了研究援酝藻灶贼燥则郧则葬责澡蚤糟泽公司 环形光源渊葬灶灶怎造葬则泽燥怎则糟藻冤尧二极光源渊凿蚤责燥造藻泽燥怎则糟藻冤 报道了一种基于像素表征的光源模型咱员缘暂 袁晕蚤噪燥灶公 及四极光源渊择怎葬凿则怎责燥造藻泽燥怎则糟藻冤援根据光刻机系统的 司提出可通过光学传递函数 渊燥责贼蚤糟葬造 贼则葬灶泽枣藻则 部分相干成像原理袁各种照明光源的特殊光强分布 枣怎灶糟贼蚤燥灶袁韵栽云冤来表征光源对光学临近效应的影 形式通常用定义在成像光瞳坐标的光源函数渊责怎责蚤造 响咱员远暂援这两种光源模型无法直接解析表征光源在光 蚤造造怎皂蚤灶葬贼蚤燥灶枣怎灶糟贼蚤燥灶冤来表征咱源要远暂援 目前袁在光刻分辨 瞳面分布的物理特性袁实际应用具有一定的局限 率增强技术及其相关领域袁例如光刻机投影物镜波 性援光刻机厂商粤杂酝蕴公司联合国际镜头专门企业 像差检测尧光刻系统交叉传递函数渊贼则葬灶泽皂蚤泽泽蚤燥灶 悦葬则造鄄在藻蚤泽泽公司共同从事光刻机的照明光源建模研 糟则燥泽泽鄄糟燥藻枣枣蚤糟蚤藻灶贼袁栽悦悦冤快速计算及光刻掩模图案优 究袁提出一种解析表征真实光强分布的光瞳拟合模 化设计等咱苑要员园暂 袁都采用了理想的简化光源模型作为 型渊责怎责蚤造枣蚤贼皂燥凿藻造袁孕云酝冤袁用于精确描述并拟合真 仿真输入援理想光源模型将真实光源的复杂且连续 实照明光源在光瞳面上的物理分布咱员苑暂援虽然 孕云酝 的光强分布形式表达为极为简单的野园原员冶二元分 引入了全参