静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０４０７８３０６ 　 静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性 岳东旭，于 虹，袁卫民 　 （东南大学 电子科学与工程学院 ＭＥＭＳ教育部重点实验室，江苏 南京 ２１００９６） 摘要：理论分析了亚微米尺寸的悬臂梁结构的非线性力学模型，研究了非线性产生的物理机制。采用外部静电激励机 制，使悬臂梁谐振器产生谐振，借助 Ｐｏｌｔｅｃ激光多普勒测振系统检测了悬臂梁的频率响应曲线。测试结果表明，悬臂梁 ｙ 具有显著的非线性效应（即“弹簧变软”效应）。实验证实了这种非线性效应几乎和交流电压无关，却随着直流电压的增 大而显著增大，最大峰值偏移达到 。提取出 组一阶机械弹性系数分别为 ， 和 ／ ，实验结 ０．５ＭＨｚ ３ ７９．６２３１．７５ １４．９２Ｎ ｍ 果符合理论规律。对实验中的偏差做了进一步的分析和讨论，利用软件 ＡＮＳＹＳ对过腐蚀对结构刚度和频率响应的影 响做了相应的模拟，结果和实验测量数据相吻合。 关 键 词：静电驱动；悬臂梁谐振器；非线性；频率响应 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＰ２１２．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０７８３ 　　 　　 犖狅狀犾犻狀犲犪狉犮犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊狅犳 狊狌犫犿犻犮狉狅狀犮犪狀狋犻犾犲狏犲狉犫犲犪犿狉犲狊狅狀犪狋狅狉狊犪犮狋狌犪狋犲犱犫 狊狋犪狋犻犮犪犾犲犾犲犮狋狉犻犮犻狋 狔 狔 ， ， ＹＵＥＤｏｎｘｕ ＹＵＨｏｎ ＹＵＡＮＷｅｉｍｉｎ ｇ ｇ （ ， 犓犲犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犕犈犕犛狅 狋犺犲犕犻狀犻狊狋狉 狅 犈犱狌犮犪狋犻狅狀 狔 狔 犳 犳 狔 犳 ， ， ， ） 犛犮犺狅狅犾狅 犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犛狅狌狋犺犲犪狊狋犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犖犪狀犻